Agilent Technologies 969-8888, Instruction Manual

Page: 60 / 116

HASZNÁLATI UTASÍTÁS
54/107 87-901-011-01
ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ
A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték.
A felhasználónak a berendezés m
ű ködtetése el ő tt el kell
olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely
információt. A Varian nem vonható felel
ő sségre olyan
eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár
részbeni meg nem felelés, szakképzetlen személyek általi nem
megfelel
ő használat, a berendezésbe való jogosulatlan
beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes
bármely m
ű velet miatt történtek.
A Turbo-V 3K-G egy integrált rendszer turbo-molekuláris
szivattyúval nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a
megfelel
ő vezérl ő jével. A rendszer sokfajta típusú gázt vagy
gázkeveréket képes szivattyúzni. Nem alkalmas folyadékok
vagy szilárd részecskék szivattyúzására. A szivattyúzási
m
ű veletet egy nagyteljesítmény ű 3 fázisú elektromos motorral
hajtott nagysebesség ű turbina (max. 31800 fordulat/perc)
biztosítja. A Turbo-V 3K-G szivattyú szennyez ő anyagoktól
mentes, és ezért alkalmas „tiszta” vákuumot igényl ő
alkalmazásokra.
Fel van szerelve segédcsatlakozókkal, amelyeket távoli helyr
ő l
kell irányítani soros vonalon (RS232 vagy RS485) keresztül
csatlakoztatott gazdagép segítségével.
A következ
ő bekezdések a berendezést használó kezel ő
biztonságának garantálásához szükséges összes információt
tartalmazzák. Részletes információt talál a „Technical
Information” függelékben.
Ez a kézikönyv a következ ő szabványos protokollt
használja:

VIGYÁZAT!
A figyelmeztet ő üzenetek felhívják a kezel ő figyelmét egy
konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek
megfelel
ő en, súlyos sérüléshez vezethet.
FIGYELEM
A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások el ő tt jelennek meg,
amelyeket ha nem követnek, a berendezés károsodását
okozhatják.
MEGJEGYZÉS
A megjegyzések a szövegb ő l vett fontos információt
tartalmaznak.
TÁROLÁS
A Varian Turbomolecular szivattyúk maximális
teljesítményszintjének garantálására a következ
ő
útmutatásokat kell követni:
•
szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a
következ
ő környezeti paramétereket nem szabad túllépni:
•
h ő mérséklettartomány: -20 °C - 70 °C
•
relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
•
A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani,
amikor a felhasználó átveszi és el
ő ször üzemelteti.
•
Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10 hónap
a szállítás dátumától.
FIGYELEM
Ha valamilyen okból a raktározhatási id ő t túllépik, a szivattyút
vissza kell vinni a gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi
Varian vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez.
EL Ő KÉSZÍTÉS TELEPÍTÉSRE
A Turbo-V 3K-G-t különleges véd ő csomagolásban szállítják. Ha
ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet,
forduljon a helyi szolgáltatási irodához.
A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le,
és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.
Csak azután vegye le a csatlakozók véd
ő burkolatát, ha a
turbószivattyú már rögzítve van a rendszerhez.
A súlya miatt (52 kg) használja a szivattyú törzsébe 120°-ban
becsavart három szemcsavart a szivattyúnak a csomagból való
kihúzásához.
Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett
módon. Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel az
EEC 85/399-es direktívának.
FIGYELEM
Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta
kezeket vákuumnak kitett komponensek kezelésére. Mindig
használjon keszty
ű t vagy más alkalmas védelmet.
MEGJEGYZÉS
A környezetnek való szokásos kitettség nem károsíthatja a
Torbo-V 3K-G-t. Mégis ajánlatos azt zárva és tömítve tartani,
amíg nem telepítik a rendszerbe. Ez megakadályozza a
rendszer szennyez
ő dését.
A Turbo-V 3K-G csomag a következ ő ket tartalmazza:
1. szivattyú beépített vezérl ő vel
2. bemeneti sz ű r ő (felszerelve)
3. a kézikönyv CD-ROM-on
4. tartozékok zacskó
5. IP-54 15 t ű s csatlakozó "REMOTE I/O" számára a
szivattyú indításához szükséges összes vezetékkel.
6. IP-54 9 t ű s csatlakozó soros csatlakozáshoz használandó
"SERIAL" csatlakozóhoz
7. IP-54 9 t ű s csatlakozó „Network” MoniTorr-hoz
8. Tartóbilincs a tápkábel (szerelt) megtartásához.
TELEPÍTÉS

VIGYÁZAT!
Súlya miatt a szivattyút alkalmas mozgató és
kezel
ő eszközökkel kell kezelni.
Használja az alkalmas kezel ő készletb ő l való, a szivattyú
törzsében lév ő lyukakba csavart szemcsavarokat.