Agilent Technologies 969-8888, Instruction Manual

Page: 39 / 116

BRUGSANVISNING
33/107 87-901-011-01
VIGTIGT!
Fjern først den fastboltede afskærmning, når turbopumpen er
blevet sluttet til systemet.
VIGTIGT!
Fjern beskyttelsen fra konnektorerne, kun efter at turbopumpen
er blevet fastgjort til systemet.
Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for
påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive
gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø.
Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift:
- max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk
- temperatur: fra +5°C til + 35°C (se illustrationen i bilaget
“Technical Information”)
- relativ luftfugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende)
Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske
felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Technical Information”
for yderligere oplysninger.
Turbo-V 3K-G skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet
“Technical Information”).
Turbo-V 3K-G kan installeres i en hvilken som helst position.
Fastgør Turbo-V 3K-G i en stabil position ved at slutte
turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et
moment på 33000 Nm omkring akselen.
Turbopumpen med OSO D indgangsflange skal fastspændes til
vakuumkammeret med bolte, der er spændt med et
drejningsmoment svarende til 12.9 (
σ
r
= 1200 N/mm
2
).
Følgende tabel angiver det nødvendige antal metalbolte og
drejningsmomentet, som Varian anbefaler.
FLANGE KLEMMETYPE ANT.
DREJNINGS-
MOMENT
ISO 250 F Bolt med M10 gevind 12 30 Nm

ADVARSEL!
Turbo-V 3K-G pumpen kan ikke fastgøres ved hjælp af dens
sokkel. Pumpen kan kun monteres ved hjælp af dens ISO 250F
flange.

ADVARSEL!
Den manglende overholdelse af installationsanvisningerne, hvis
der opstår en fejl på rotoren, kan forårsage frakobling af pumpen
fra systemet, og medføre beskadigelser til udstyr og alvorlige
kvæstelser eller dødsfald.
VIGTIGT!
Turbo-V 3K-G hører til den anden installationsklasse (eller
overspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor
anordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne
klasse.
Anvend kontrakonnektorerne, som følger med, for at sikre
isoleringen IP-54.
Turbo-V 3K-G er forsynet med konnektorer til ind-/udgange og
til seriel kommunikation. Konnektorerne skal tilsluttes de
eksterne kredsløb, således at det ikke er muligt at opnå adgang
til de spændingsførende dele.
Kontrollér, at anordningen, der er tilsluttet Turbo-V 3K-G, har en
passende isolering. Dette gælder også i tilfælde af enkeltfejl
som angivet i normen EN 61010-1.
Der henvises til bilaget “Technical Information” for oplysninger
vedrørende installation af ekstraudstyret.
ANVENDELSE
Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden
anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og
pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med
opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens
temperatur ikke overstige 80° C.
Rotorens temperatur må aldrig overskride 120 °C i forbindelse
med brug af pumpen.
Operatøren skal kontrollere, at den korrekte funktion er indstillet
i forhold til gastypen, som skal pumpes: 1 til kvælstof og lettere
gasarter, 0 til argon (default indstilling) i seriel betjeningen 157.
Vedrørende yderligere detaljer henvises til bilaget "Technical
Information".

ADVARSEL!
Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er
tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved
hjælp af lukkeflangen.
Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med
opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i
skade på personer.
VIGTIGT!
Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i
forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for
beskadigelse af lejerne.
Pumpen skal forsynes med luft eller ædelgasser, der ikke
indeholder støv eller faste partikler. Indgangstrykket ved den
specielle dør skal være mindre end 1 bar (over atmosfærisk
tryk).
I forbindelse med pumpning af gasser, der indeholder partikler
og andre aggressive foruredningsmidler, der skader lejerne, er
disse pumper udstyret med en dør, igennem hvilken det er
nødvendigt at forsyne pumpen med ædelgasser (kvælstof eller
helium) for at beskytte lejerne (se bilaget “Technical
Information”).
VIGTIGT!
Pumpen må aldrig bruges hvis der er gasser eller ætsende
dampe, der kan beskadige pumpens indvendige dele.

ADVARSEL!
Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive
gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype.
Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser.
Pumpen er projekteret til at sikre en høj pumpekapacitet for
kvælstof, argon og lettere gasarter.
Kontakt Varians tekniske servicecenter vedrørende yderligere
oplysninger, hvis det er nødvendigt at pumpe gasarter, som er
tungere end argon.
Brug af Turbo-V 3K-G
Start af systemet
Kontrollér, at I/O kontakten er blevet fjernet inden start af
systemet. Kontrollér, at stopsignalet er aktiveret, hvis systemet
er tilsluttet en fjernstyret I/O anordning (se afsnittet "J1 -
REMOTE I/O" i bilaget "Technical Information").
Gør følgende for at starte systemet:
1. Fjern I/O kontakten (hvis den er monteret)
2. Tilslut strømmen