Agilent Technologies 969-8888, Instruction Manual

Page: 48 / 116

BRUKERVEILEDNING
42/107 87-901-011-01
INSTALLASJON

ADVARSEL!
På grunn av pumpens vekt må den flyttes med egnede løfte- og
flytteredskaper. Bruk øyeboltene som er strammet til i de
gjengete hullene på pumpehuset.
FORSIKTIG!
Ikke ta av det fastskrudde dekslet før turbopumpen koples til
systemet.
FORSIKTIG!
Fjern beskyttelsen på koplingsstykket kun etter at turbopumpa
er festet til systemet.
Ikke installer eller bruk systemet i miljøer som utsettes for regn,
snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer
eller miljøer med stor brannfare.
Under bruk må følgende forhold respekteres:
-
maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk)
- temperatur: fra +5°C til +35°C (se diagram i tillegget
“Technical Information”)
- relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)
Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede
skjermer. Se “Technical Information” for detaljer.
Turbo-V 3K-G må koples til en hovedpumpe (se skjema i
"Technical Information").
Turbo-V 3K-G kan monteres i en valgfri stilling. Fest Turbo-V
3K-G i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en fast
koplingsflens med et dreiemoment på 33000 Nm rundt aksen.
Turbopumpen med inngangsflense ISO F skal festes til
vakuumkammeret ved hjelp av muttere med festeklasse på
12.9 (
σ
r
= 1200 N/mm
2
). Tabellen som følger beskriver antallet
stålmuttere som behøves samt dreiningsmomentet som
anbefales av Varian for å stramme dem.
FLENS TYPE KLEMME ANT.
STRAMME-
MOMENT
ISO 250 F Bolt med M10 gjenge 12 30 Nm

ADVARSEL!
Turbo-V 3K-G kan ikke festes med bruk av bunnen. Systemet kan
kun festes ved hjelp av sin egen ISO 250F flens.

ADVARSEL!
Manglende respekt for disse installeringsinstruksene kan føre til
feil på rotor og dermed til at pumpa løsner fra systemet. Dette
kan føre til alvorlig skade på ting eller personer.
FORSIKTIG!
Turbo-V 3K-G hører til installasjonsklasse (eller
overspenningsklasse) nummer 2 i følge EN 61010-1
standarden. Kople derfor anordningen til en hovedledning som
tilfredsstiller kravene for denne klassen.
Benytt de egnede motkoplingsstykkene for å garantere IP-54
isoleringen.
Turbo-V 3K-G er utstyrt med koplingsstykker for inn-/utgangene
og seriekommunikasjonen som må koples til de ytre
strømkretsene slik at ingen deler under spenning er
tilgjengelige.
Forsikre deg om at isoleringen av anordningen koplet til Turbo-
V 3K-G har en egnet isolering, også under forhold med en
enkel feil i følge EN 61010-1 standarden.
For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Technical
Information".
BRUK
Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet.
Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk.
Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved
inngangsflensen ikke overskride 80°C.
Mens pumpen er i funksjon må rotorens temperatur aldri
overstige 120 °C.
Operatøren må passe på å stille inn riktig driftsmodus i henhold
til gassen som skal pumpes: 1 for nitrogen og lettere gasser, 0
for argon (standardmodus) i 157 tilkoblingen for seriell kontroll.
For ytterligere detaljer, se vedlegget "Technical Information".

ADVARSEL!
Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til
vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen.
Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under
oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til
brannskader.
FORSIKTIG!
Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av
turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades.
Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved forsyning av
pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 1
bar (over atmosfærisk trykk).
Ved pumping av gasser som inneholder partikler eller stoffer
som er forurensende for lagrene, er disse pumpene utstyrt med
en spesiell dør, som det er nødvendig å bruke for å mate
pumpen med en strømning av uvirksom gass (nitrogen eller
helium) for å beskytte lagrene (se vedlegget "Technical
Information").
FORSIKTIG!
Bruk aldri pumpen med etsende gasser eller damp som kan
skade materiale inne i pumpen.

ADVARSEL!
Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller
radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte
gasstypene følges.
Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.
Pumpen er utviklet for å pumpe store mengder med nitrogen,
argon og lettere gasser.
Hvis det er nødvendig å pumpe gasser som er tyngre enn
argon, vennligst kontakt Varian’s tekniske service for
informasjon.
Bruk av Turbo-V 3K-G
Hvordan starte opp systemet
Før systemet startes, kontroller at I/O kontakten er fjernet. Hvis
systemet er koplet til en fjernstyrt I/O-anordning, forsikre deg
om at stoppsignalet er aktivert (se avsnittet "J1 - REMOTE I/O"
i vedlegget "Technical Information").