Agilent Technologies 969-8888, Instruction Manual

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GEBRAUCHSANLEITUNG
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ALLGEMEINE INFORMATIONEN
Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt.
Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie
alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu
lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen
Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes
Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der
nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Varian
keinerlei Haftung.
Modell Turbo-V 3K-G ist ein integriertes System, das aus einer
Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum-
anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller,
besteht. Das System kann viele Arten von Gas oder gasförmi-
gen Gemischen pumpen, ist jedoch nicht für das Pumpen von
Flüssigkeiten oder Festkörperpartikeln geeignet.
Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine (max.
31800 1/min) erreicht, die von einem Hochleistungs-
drehstrommotor angetrieben wird. Modell Turbo-V 3K-G enthält
keinerlei umweltschädliche Substanzen und eignet sich des-
halb auch für Anwendungen, die ein "sauberes" Vakuum erfor-
dern.
Es verfügt des Weiteren über Hilfskonnektoren, über die es von
einem Host-Rechner mit seriellem Anschluss (RS232 oder
RS485) ferngesteuert werden kann.
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informati-
onen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des
Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im
Anhang "Technical Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:

GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedie-
ners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungswei-
se, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen her-
vorrufen könnten.
ACHTUNG!
Die Warnhinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei
Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
HINWEIS
Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem
Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian
Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden
Anweisungen zu beachten:
•
Während des Transports, der Handhabung und der Einla-
gerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht
überschritten werden:
•
Temperatur: von –20 °C bis 70 °C
•
Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensie-
rend)
•
Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Emp-
fang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in-
gangzusetzen.
•
Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10
Monate ab dem Speditionsdatum.
ACHTUNG!
Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die ge-
nannte Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk
zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an
den örtlichen Varian Vertreter.
VOR DER INSTALLATION
Modell Turbo-V 3K-G wird in einer speziellen Schutzverpa-
ckung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zustän-
digen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell Turbo-V 3K-G
ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen
und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpa-
ckungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen.
Den Schutz der Steckverbinder erst entfernen, wenn die Tur-
bopumpe am System befestigt ist.
Für die Entnahme der Pumpe aus ihrer Verpackung sind, auf-
grund des hohen Gewichtes (52 kg), die drei um 120º versetz-
ten Ösenschrauben zu benutzen, die am Pumpenkorpus ange-
schraubt sind.
Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie
85/399/EWG für Umweltschutz.
ACHTUNG!
Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem
Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen
angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere
Schutzmittel zu verwenden.
HINWEIS
Die Turbo-V 3K-G kann durch ledigliche Einwirkung von atmo-
sphärischen Bedingungen nicht beschädigt werden. Es wird
indes empfohlen, die Pumpe bis zur Installation am System
geschlossen und versiegelt zu halten. Auf diese Weise kann
der Verunreinigung des Systems vorgebeugt werden.
Verpackungsinhalt der Turbo-V 3K-G:
1. Pumpe mit integriertem Controller
2. Inlet-Screen (montiert)
3. Betriebsanleitung auf CD-ROM
4. Beutel mit Zubehör
5. Gegenkonnektor mit 15 PINs “REMOTE I/O” IP-54 mit
integrierten Anschlüssen für den Pumpenanlauf
6. Gegenkonnektor mit 9 PINs “SERIAL” IP-54 für den se-
riellen Anschluss
7. Gegenkonnektor mit 9 PINs IP-54 "Network" MoniTorr
8. Halteschelle für das Stromversorgungskabel (montiert).
INSTALLATION

GEFAHR!
Die Pumpe ist aufgrund ihres hohen Gewichtes mit geeigneten
Hebe- und Förderzeugen zu handhaben. Zu diesen Zwecken
sind die Ösenschrauben zu benutzen, die in die Gewindeboh-
rungen am Pumpenkorpus eingeschraubt sind.
ACHTUNG!
Die angeschraubte Abdeckung darf erst nach Anschluss der
Turbopumpe an das System entfernt werden.