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P1
E
IC6 Operating Manual
Configure Sources 1 to 6 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-8
Configure six Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-8
Configure the Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-9
General Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-9
Logic Functions Table . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-9
State Descriptions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-10
NonDepCntl State. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-10
Suspend . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-10
Idle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-10
Maintenance and Calibration Procedures
Importance of Density, Tooling and Z-Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-1
Determining Density . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-1
Determining Tooling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-2
Laboratory Determination of Z-Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-3
AutoTuning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-5
AutoTune Preparation Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-5
AutoTune Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-8
AutoTune Manual Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-9
AutoTune Tuning Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-10
AutoTune Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-10
Determining Cross Talk Calibration
For Co-Deposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-13
Procedure Set-Up. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-14
Cross Talk Calibration Procedural Notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-14
Cross Talk Calibrate Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-16
Cross Talk Calibration MANUAL display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-17
Function Key Selection Choices. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-17
Cross Talk Calibration CALIBRATE display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-18
Cross Talk Calibration SELECT display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-19
Function Key Selection Choices for
Cross Talk Calibration Select . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-19
Source Maintenance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-20
Source Maintenance Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-21
Crucible Rotation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-21
Toggle Sensor and Source Shutter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-21
Start/Stop Manual Power . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-21
System Status . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-22
Содержание IC6
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Страница 2: ......
Страница 8: ......
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Страница 148: ...8 4 IPN 074 505 P1E IC6 Operating Manual This page is intentionally blank ...
Страница 170: ...9 22 IPN 074 505 P1E IC6 Operating Manual This page is intentionally blank ...
Страница 236: ...11 2 IPN 074 505 P1E IC6 Operating Manual Figure 11 1 The essential advantage of multi point deposition sensing ...
Страница 268: ...13 2 IPN 074 505 P1E IC6 Operating Manual This page is intentionally blank ...
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Страница 338: ...A 10 IPN 074 505 P1E IC6 Operating Manual This page is intentionally blank ...
Страница 342: ...1 4 IPN 074 505 P1E IC6 Operating Manual This page is intentionally blank ...