28
5. Handling precautions
List of materials
No. Part name
Material
No.
Part name
Material
①
Capacitor
SUS304
A
O-ring
Viton
Adhesive
：
Silicone
②
Sensor
Stainless steel
③
Ball valve
Stainless steel
※
All O-rings are made of Viton.
④
Clamp
Polyacetal
B
Packing
Silicone
⑤
Collecting flask
Glass
C
Hose
Teflon
⑥
Filter element
Filtering material
：
Glass wool
Adhesion
：
Epoxy
Packing
：
chloroprene
D
Spray nozzle
Seal
：
Haika
（
NBR
）
Teflon
⑦
Filter case
SUS304
Packing: silicone
E
Tube
Teflon
⑧
Differential
pressure meter
ABS resin
Diaphragm
：
Silicone
Connecting hose
：
Viton
F
Aluminum
honeycomb
Adhesive
：
phenol
⑨
Flow meter
（
for introducing
N
2
）
Air contact assembly
：
Viton
、
Teflon
Connecting hose
：
Teflon
G
Cap
Silicone
⑩
Compressor
Cover case
：
PP
Connecting hose
：
Teflon
H
Pressure meter
⑪
Solenoid valve
（
for N
2
control
）
Seal assembly
：
Teflon
I
Needle valve
Seal assembly
：
Teflon
Viton
⑫
Flow meter
（
for measuring
O
2
concentration
）
Air contact assembly
：
Viton, Teflon
Connecting hose
：
Viton
J
3-way valve
（
for
switching
connection
of
GAS410
）
Seal assembly
：
Teflon
⑬
Filter
Connecting hose
：
Viton
K
Solenoid valve
（
for pulse jet
）
Seal assembly
：
Teflon
⑭
Pump
Valve
：
Chloroprene
Connecting hose
：
Viton
L
Packing
Silicone
⑮
O
2
sensor
Case
：
Polyacetal
Packing
：
Viton
Connecting hose
：
Viton
⑯
Solenoid valve
（
for exhaust
）
Seal assembly
：
Teflon
Connecting hose
：
Teflon
⑰
Blower
Oil seal
：
NBR
Air contact assembly
：
Steel acrylic phthalic
acid resin paint
⑱
Solenoid valve
（
for introducing
N
2
）
Seal assembly
：
Fluoro-rubber
⑲
Solenoid valve
（
for suction
）
Seal assembly
：
Fluoro rubber
