
질량
유량
장치
안전
정보
15
질량
유량
장치
안전
정보
본
지침
매뉴얼에
사용되는
기호들
매뉴얼
전체에
사용되는
경고
,
주의
및
참고
메시지의
정의
.
경고
경고
표시는
위험을
나타냅니다
.
이
표시는
올바르게
수행되거나
지켜지지
않을
경우
,
사람에게
상해를
입힐
수
있는
절차
,
수행지침
,
상태
또는
이와
유사한
상황들에
대한
주의를
환기시킵니다
.
주의
주의
표시는
위험을
나타냅니다
.
이
표시는
올바르게
수행되거나
지켜지지
않을
경우
,
제품의
일부나
전체에
손상이나
파손을
일으킬
수
있는
절차
,
수행지침
또는
이와
유사한
상황들에
대한
주의를
환기시킵니다
.
참고
참고
표시는
중요한
정보를
나타냅니다
.
이
표시는
강조할
만한
주요
절차
,
수행지침
,
상태
또는
이와
유사한
상황들에
대한
주의를
환기시킵니다
.
장치에
표시된
기호들
다음
표는
장치에서
볼
수
있는
기호들을
설명합니다
.
표
6:
장치에
표시된
기호들의
정의
|
켬
(
전원
)
IEC 417, No. 5007
끔
(
전원
)
IEC 417, No. 5008
접지
(
지면
)
IEC 417, No. 5017
보호
접지
(
지면
)
IEC 417, No. 5019
프레임
또는
섀시
IEC 417, No. 5020
등전위성
IEC 417, No. 5021
직류
IEC 417, No. 5031
교류
IEC 417, No. 5032
직류와
교류
모두
IEC 417, No. 5033-a
클래스
II
장비
IEC 417, No. 5172-a
3
상
교류
IEC 617-2, No. 020206
주의
(
동봉
문서
참조
)
ISO 3864, No. B.3.1
주의
,
감전
위험
ISO 3864, No. B.3.6
주의
,
표면이
뜨거움
IEC 417, No. 5041
Summary of Contents for P9B
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Page 10: ...List of References vi This page intentionally left blank...
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Page 22: ...12...
Page 23: ...13 MKS Instruments Inc MKS Calibration and Service Center...
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Page 26: ...16 MKS Instruments Inc MKS MKS Calibration and Service Center...
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Page 28: ...18...
Page 32: ......
Page 56: ...Chapter Four Analog and Digital Interface Digital Interface Input and Output Options 46...
Page 64: ......
Page 86: ...Chapter Six Embedded Web Based GUI and Diagnostics Tuning the MFC for Optional PC 76...
Page 92: ...Chapter Seven Maintenance Pressure Zero Adjustment 82 This page intentionally left blank...
Page 99: ...Troubleshooting Chart Chapter Eight Troubleshooting 89 This page intentionally left blank...
Page 100: ......
Page 105: ...Appendix A Product Specifications Electrical Specifications 95...
Page 111: ...Model Code Description 101...
Page 112: ...Model Code Description Appendix C Health and Safety Form 102 Appendix C Health and Safety Form...