MKS P9B, Instruction Manual, Page: 23 / 112

マスフロー機器の安全に関する情報
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安全対策について
本機器を使⽤する際は、必ず以下の安全対策を守ってください。これらの安全対策や本マニュアルの
警告を無視すると、機器本来の⽤途の安全基準を侵害することになり、機器が提供する保護機能が
損なわれる可能性があります。
MKS Instruments, Inc.
は、顧客側の安全対策の不履⾏に対して
は⼀切責任を負いかねます。
勝⼿に部品を変えたり、本体を改造しないこと
本機器に代⽤部品を使⽤したり、不正な改造を加えないでください。すべての安全システムを正しく機能させるた
めの修理やメンテナンスが必要な場合は、本機器を
MKS Calibration and Service Center
まで戻してください。
修理は必ず専⾨の修理サービスを利⽤すること
オペレータは絶対に本機器を分解しないでください。部品の交換や内部の調整は必ず専⾨の修理サービスを利
⽤してください。
電流が通じている回路から切断すること
電源ケーブルを接続したままで部品を交換しないでください。特定の状況では、電源ケーブルを取り外した状態
でも危険な電圧が残っている場合があります。感電などの事故を防ぐため、回路に触れる前に必ず電源から切
断し、放電してください。
危険な材料を使⽤する場合は慎重に機器を使⽤すること
危険な材料を使⽤する場合は、使⽤者は各⾃の責任の元で適切な安全対策を講じてください。必要に応じて
本機器を浄化してください。また、使⽤する材料に対するシーリング材の耐久性を確認してください。
機器を浄化すること
本機器を取り付けた後やシステムから取り外す前に、きれいな乾燥ガスで本機器を浄化し、使⽤した材料を完
全に取り除いてください。
浄化する場合は適切な⼿順で⾏うこと
本機器の浄化は換気フードの下で⾏う必要があります。また、浄化作業を⾏う⼈は必ず⼿袋を着⽤してください。
爆発の危険性のある環境で機器を使⽤しないこと
爆発が起きるのを防ぐため、本機器を爆発の危険性のある環境で使⽤しないでください。ただし、そのような環境
での使⽤が特別に保証されている場合は除きます。
適切な⾦具類を使⽤し、⼿順に従って⾦具の締めを⾏うこと
⾦具類は本機器の仕様と⼀致し、機器本来の⽤途に適合したものである必要があります。⾦具類の取り付け
や締めは、製造業者の指⽰に従ってください。
液体の漏れがないよう接続箇所を確認すること
本機器を設定する前に、すべての配管の接続を慎重に確認し、液体が漏れないようにしてください。