SevenStar D07-7C / ZM, Инструкция по эксплуатации

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3.
主要技术指标
表
1. D07-7C
型
MFC
性能指标
编号 项 目
D07-7C
型
1 流量规格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10) SLM
2 准确度 ±1.5 % F.S
3
线性
±1 % F.S
4 重复精度 ± 0.2 %F.S
5
响应时间 电特性
: 10 sec;
气特性
:
≤
4 sec
6 工作压差范围 (0.1 ~ 0.5) MPa
7
耐压
3 MPa
8 工作环境温度 5 ℃ ~ 45 ℃
9 输入输出信号
0 V ~ +5.00 V
( 输入阻抗大于 100K, 输出电流不大于 3mA)
10
电源
+15 V 50 mA; -15V 200 mA
11 外形尺寸 见图 4
12
重量
1.1 kg
注意
:
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N
2
）标定。
质量流量的单位规定为:
SCCM
(标准毫升/分);
SLM
(标准升/分)
标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );
气压 — 101325 Pa (760mm Hg)
在七星电子 MFC/MFM 产品中心，单位 SCCM 和“mL/min, 0℃,1atm
”
等同，单位 SLM 和
“L/min, 0℃,1atm
”
等同。
F.S (Full Scale): 满量程值