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9.
保证、保修与服务
9.1
产品保证和保修
9.1.1
本公司生产的
MFC/MFM
产品在出货两年以内,如果用户按照说明书要求使用,并且产品没
有遭受物理损害、污染、改装或翻新,我们保证产品的材料、加工和性能的质量,若有问题,
免费维修。
9.1.2
用户收到货物后,有责任检查及核对货物,并通过传真、电话或电子邮件的方式及时通知
本公司销售部有关收货情况。
9.1.3
保修期内,产品必须由本公司或授权的服务中心修理,否则,产品的保修是无效的。
9.1.4
在两年保修期以内,维修是免费的。如果保修期过了,在维修前将会通知用户需要更换的
部件及维修费用。维修后,在
90
天以内对修理的部分进行保修,保修件包括易损件
(
四氟或
密封圈等
)
。
9.1.5
用户使用过有毒、有污染或腐蚀性气体的产品
,
如果没有出示清除污染及净化处理的证明,
本公司将不负责修理或保修。
9.2
保修对使用的要求
a
.气体必须洁净且没有颗粒物
,
没有液体
,
这就要求在
MFC/MFM
的上游气路中安装
<30
μ
m
的过滤器。
b
.输入的气体压力必须符合产品的耐压标准
,
不能超过该产品要求的最大压力。
c
.产品的使用气体必须与用户订货选择的密封材料相适应
,
用户有责任按照可用的安全规章
使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效,由于不正确的使用所导致的损害不能
归咎于本公司。
d
.对电子线路的要求:必须小心按规定连接系统的接线
,
不正确的接线会导致产品内部电路
板的永久损坏。若自备
MFC
电源
,
需要电压波动小于
5mV
的高抗干扰稳压电源。
e
.气路的连接:必须仔细的安装密封管件
,
保证所有的密封管件经过单独检查并且没有划痕。
f
.禁止自行拆开
MFC/MFM
。如果自行拆卸造成损坏,则本公司承诺的保修无效。
9.3
服务
本公司的产品工程师将会帮助您解决关于操作、标定、机电连接、工作条件要求、气体
转换等方面的问题。我们提供技术支持与维护
,
提供产品的使用培训。
请您访问
www.mfcsevenstar.com.cn
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Содержание D07-7C / ZM
Страница 1: ...D07 7C D07 7CM 2015 12...
Страница 3: ...1 26 1 D07 2 Mass Flow Meter MFM Mass Flow Controller MFC CVD D07 D07 D08 1...
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Страница 9: ...7 26 0 5 V 5 5 1 7C 7CM 4 5 4 D07 7C MFC...
Страница 11: ...9 26 6 6 1 25 5 3 8 9 15 1 7 7C D 1 2 3 4 5 6 7 10 11 12 13 14 15 9 8 0 5V 15V 15V 15V 15V 15V 15V 15V...
Страница 13: ...11 26 5 4 a 9 0V 5V 0 A D 5 00V MFC 3mA 0V 5 00V 3 3K 5 00V D A 100K 10 9 A D D A 15V 15V PLC...
Страница 14: ...12 26 b 10 MFC MFM 15V D A A D 15V 10 5 5 11 15 10 A D D A 15V 15V PLC 15V 15V 15V 15V COM 0 5 00V 0 5V...
Страница 15: ...13 26 D08 6 D08 6 1 6 1 1 12 a 20 5 15 5 5 b 2 c 11 7C 7CM...
Страница 16: ...14 26 d e 12 6 1 2 MFC 6 1 3 1 9 6 1 4 1 10...
Страница 18: ...16 26 2 7 3 2 F S 2 7 4 7 5 7 6...
Страница 19: ...17 26 7 7 N2 10 1 100 SCCM N2 MFC 86 SCCM 10 1 0 719 86 0 719 61 8 SCCM 10 2...
Страница 22: ...20 26 D07 7C007001LCCNUS D07 7C 007 001L CC N U S D07 7C MFC H2 1SLM Compression fitting 1 4 0 05 0 3 MPa 40...
Страница 23: ...21 26 8 3 1 1 1 1 2 1 3 1 4 1 5 1 6 2 2 1 2 2 15V 2 3 2 4 3 3 1 3 2 3 3 4 4 1 4 2 MFC 4 3 5 00V 4 4...
Страница 24: ...22 26 3 5 5 1 5 2 5 3 6 6 1 6 2 6 3 7 7 1 7 2 7 3 8 8 1 8 2 9 9 1 9 2 10 10 1...
Страница 30: ...D07 7C ZM Mass Flow Controller D07 7CM ZM Mass Flow Meter INSTRUCTION MANUAL Version Dec 2015...