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于要求值,有可能流量达不到满量程值。
7.7
标定和不同气体的换算
本流量计出厂通常用氮气(
N
2
)标定。如果要求用使用气体标定
,
需要在订货时与销售
人员特别申明。
用氮气标定的流量计用户使用其它气体时
,
可以通过附录
10.1
的转换系数进行换算
,
算出被使用气体的流量。将质量流量控制器显示出的流量读数,与某使用气体的转换系数
相乘,即得该被测气体在标准状态下的质量流量。
例如:一个出厂标定为
100 SCCM(N
2
)
的
MFC
,通甲烷气体时显示的流量为
86 SCCM
,
从附录
10.1
查得甲烷的转换系数为
0.719
,则甲烷的实际流量为
86
×
0.719
即
61.8 SCCM
。
如果用户使用混合气体,可以通过附录
10.2
介绍的方法
,
计算出混合气体的转换系数。
Содержание D07-7C / ZM
Страница 1: ...D07 7C D07 7CM 2015 12...
Страница 3: ...1 26 1 D07 2 Mass Flow Meter MFM Mass Flow Controller MFC CVD D07 D07 D08 1...
Страница 4: ...2 26 1...
Страница 7: ...5 26 2 7C 7CM 7C 4 2 D08 3 3 D D D...
Страница 9: ...7 26 0 5 V 5 5 1 7C 7CM 4 5 4 D07 7C MFC...
Страница 11: ...9 26 6 6 1 25 5 3 8 9 15 1 7 7C D 1 2 3 4 5 6 7 10 11 12 13 14 15 9 8 0 5V 15V 15V 15V 15V 15V 15V 15V...
Страница 13: ...11 26 5 4 a 9 0V 5V 0 A D 5 00V MFC 3mA 0V 5 00V 3 3K 5 00V D A 100K 10 9 A D D A 15V 15V PLC...
Страница 14: ...12 26 b 10 MFC MFM 15V D A A D 15V 10 5 5 11 15 10 A D D A 15V 15V PLC 15V 15V 15V 15V COM 0 5 00V 0 5V...
Страница 15: ...13 26 D08 6 D08 6 1 6 1 1 12 a 20 5 15 5 5 b 2 c 11 7C 7CM...
Страница 16: ...14 26 d e 12 6 1 2 MFC 6 1 3 1 9 6 1 4 1 10...
Страница 18: ...16 26 2 7 3 2 F S 2 7 4 7 5 7 6...
Страница 19: ...17 26 7 7 N2 10 1 100 SCCM N2 MFC 86 SCCM 10 1 0 719 86 0 719 61 8 SCCM 10 2...
Страница 22: ...20 26 D07 7C007001LCCNUS D07 7C 007 001L CC N U S D07 7C MFC H2 1SLM Compression fitting 1 4 0 05 0 3 MPa 40...
Страница 23: ...21 26 8 3 1 1 1 1 2 1 3 1 4 1 5 1 6 2 2 1 2 2 15V 2 3 2 4 3 3 1 3 2 3 3 4 4 1 4 2 MFC 4 3 5 00V 4 4...
Страница 24: ...22 26 3 5 5 1 5 2 5 3 6 6 1 6 2 6 3 7 7 1 7 2 7 3 8 8 1 8 2 9 9 1 9 2 10 10 1...
Страница 30: ...D07 7C ZM Mass Flow Controller D07 7CM ZM Mass Flow Meter INSTRUCTION MANUAL Version Dec 2015...