SevenStar D07-7C / ZM, Инструкция по эксплуатации

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质量流量控制器和质量流量计
使 用 手 册
1.
使用须知
尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的
D07
系列质量流量控制器
/
质量流量计产品。
本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。
产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用，在使用过程中，请注意带有
标志的文字及注意事项中包含的所有内容。
对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害，本公司有权不承担责任。
本手册对您安装、维护及故障维修时，必不可少，请妥善留存保管。
2.
用途和特点
质量流量计
(Mass Flow Meter
缩写为
MFM)
用于对气体的质量流量进行精密测量；质
量流量控制器
(Mass Flow Controller
缩写为
MFC)
用于对气体的质量流量进行精密测量
和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环
保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括
:
电子工艺
设备 , 如扩散、氧化、外延、 CVD 、等离子刻蚀、溅射、离子注入 ; 以及镀膜设备、光纤
熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
D07
系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启
动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点 ( 可以在高压或真空条件下工作 ), 其操作使用方便 ,
可任意位置安装
,
并便于与计算机连接实现自动控制。
D07 系列质量流量控制器和质量流量计一般与 D08 系列流量显示仪等产品配套使用 ,
控制器与显示仪之间用专用电缆连接
(
如图
1
所示
)
。