SevenStar D07-7C / ZM, Инструкция по эксплуатации

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页
8.
故障判断和处理
表
3.
故障判断和处理一览表
序
号
故 障 现 象 故 障 可 能 原 因 处 理 方 法
1
开机后 , 无气流
流过
1.1
气源未开
,
气路不通 接通气源
,
开通气路
1.2 阀控开关关闭 将阀开关置于 " 阀控 " 位或 " 清洗 " 位
1.3
无设定信号
检查设定电位器和
"
内外
"
设定开关
的状态等
1.4
过滤器堵塞
*
更换过滤器
1.5 调节阀故障 检查阀线包是否断 , * 清洗调节阀
1.6
电路故障
*
维修电路
2
开机不通气的情
况下
,
流量检
测不正常
2.1 零点偏差 调整调零电位器
2.2
电源故障
*
检查±
15V
电源等
2.3 传感器故障 * 更换传感器
2.4
运算放大器或其它电路故
障
*
更换运放
,
维修电路
3
在阀门关闭的情
况下 , 仍有较大的
流量流过
3.1 入口气压过高 , 进出气口之
间的压差超过额定值
适当降低输入气压
,
减小气压差
3.2 阀门污染 * 清洗阀门 , 更换密封件
3.3 调节阀故障 * 重新调整调节阀
4
流量显示不能达
到满量程值
4.1
气压降低于额定值 提高入口气压
4.2 通道堵塞 * 清洗 MFC 通道
4.3
设定电压低于
5.00V *
检查设定电压
4.4
其它电路故障
*
维修电路