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b.
流量计直接与计算机连接的接线方法,见图
10
。
如果是
MFC/MFM
直接与计算机连接,需要用户自己提供±
15V
电源(要求电源抗干
扰能力要强)
;将“设定”线接计算机
D/A
输出;将“流量检测”线接计算机
A/D
输入端;
“信号地”线接外部信号参考地;小电流地线“公共地”和大电流地线“电源地”
,分别引
线,一起接在±
15V
电源的公共端。
如果需要计算机实现“阀控”、
“关闭”和“清洗”功能,推荐使用图
10
的阀控线与继
电器触点之间的接线方式。
5.5
调零和外调零
首次使用或工作一段时间后,若发现零点偏移
,
可以调整。能通过外罩上进气口侧面的
调零孔调整
,
也可揭开外罩调整。调整电位器位置示意如图
11
所示。注意:调零时流量管路
不能通气(或将阀门关闭);必须在开机预热
15
分钟以上,待流量计零点稳定以后进行。
通常除调零电位器外,其它电位器不得轻易调整。
图
10.
直接与计算机连接的接线方法
质量流量
控制器
或
质量流量计
流量检测
设定
信号地
阀控
A/D
转换输入
信号地
D/A
转换输出
信号地
+15V
关闭
-15V
清洗
计算机
或
PLC
(
注意
:
质量流量计无阀控线和设定线
)
阀控
+15V
-15V
公共地
电源地
+15V
-15V
电源
COM
0~+5.00V
0~+5V
Содержание D07-7C / ZM
Страница 1: ...D07 7C D07 7CM 2015 12...
Страница 3: ...1 26 1 D07 2 Mass Flow Meter MFM Mass Flow Controller MFC CVD D07 D07 D08 1...
Страница 4: ...2 26 1...
Страница 7: ...5 26 2 7C 7CM 7C 4 2 D08 3 3 D D D...
Страница 9: ...7 26 0 5 V 5 5 1 7C 7CM 4 5 4 D07 7C MFC...
Страница 11: ...9 26 6 6 1 25 5 3 8 9 15 1 7 7C D 1 2 3 4 5 6 7 10 11 12 13 14 15 9 8 0 5V 15V 15V 15V 15V 15V 15V 15V...
Страница 13: ...11 26 5 4 a 9 0V 5V 0 A D 5 00V MFC 3mA 0V 5 00V 3 3K 5 00V D A 100K 10 9 A D D A 15V 15V PLC...
Страница 14: ...12 26 b 10 MFC MFM 15V D A A D 15V 10 5 5 11 15 10 A D D A 15V 15V PLC 15V 15V 15V 15V COM 0 5 00V 0 5V...
Страница 15: ...13 26 D08 6 D08 6 1 6 1 1 12 a 20 5 15 5 5 b 2 c 11 7C 7CM...
Страница 16: ...14 26 d e 12 6 1 2 MFC 6 1 3 1 9 6 1 4 1 10...
Страница 18: ...16 26 2 7 3 2 F S 2 7 4 7 5 7 6...
Страница 19: ...17 26 7 7 N2 10 1 100 SCCM N2 MFC 86 SCCM 10 1 0 719 86 0 719 61 8 SCCM 10 2...
Страница 22: ...20 26 D07 7C007001LCCNUS D07 7C 007 001L CC N U S D07 7C MFC H2 1SLM Compression fitting 1 4 0 05 0 3 MPa 40...
Страница 23: ...21 26 8 3 1 1 1 1 2 1 3 1 4 1 5 1 6 2 2 1 2 2 15V 2 3 2 4 3 3 1 3 2 3 3 4 4 1 4 2 MFC 4 3 5 00V 4 4...
Страница 24: ...22 26 3 5 5 1 5 2 5 3 6 6 1 6 2 6 3 7 7 1 7 2 7 3 8 8 1 8 2 9 9 1 9 2 10 10 1...
Страница 30: ...D07 7C ZM Mass Flow Controller D07 7CM ZM Mass Flow Meter INSTRUCTION MANUAL Version Dec 2015...