Pfeiffer Vacuum TPH 1600, Руководство по эксплуатации

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– Gereinigte Betriebsmittelpumpe
gemäß Abschnitt 7.1.2 wieder mon-
tieren und Ablaßschraube wieder
einschrauben; auf O-Ringe achten.
– Turbopumpe mit blindgeflanschtem
Hochvakuumstutzen an die Vorvaku-
umpumpe anschließen und bis ca.
10
-1
mbar evakuieren, um Reini-
gungsmittelrückstände abzusaugen.
Turbopumpe nicht einschalten!
– Turbopumpe belüften und von Vor-
vakuumpumpe trennen.
– Turbopumpe mit Betriebsmittel fül-
len - siehe Abschnitt 7.1.2.
– Die Turbopumpe ist betriebsbereit
und kann wieder in die Anlage ein-
gebaut werden.
– Beim ersten Evakuierungsvorgang
ist die Pumpzeit, bedingt durch Rei-
nigungsmittelreste, länger.
– Re-fit the cleaned pump fluid pump
and screw in the drain screw; check
the seating of the O-rings.
– Connect the turbo pump with blank-
flanged high vacuum connection to
the backing pump and evacuate to
approx. 10
-1
mbar in order to pump
off any cleaning agent residues. Do
not switch on the turbo pump!
– Vent the turbo pump and disconnect
from the backing pump.
– Fill the turbo pump with pump fluid -
Section 7.1.2.
– The turbo pump is now ready for
operation and can be re-fitted in the
system.
– Initial evacuation takes longer owing
to cleaning agent residues.
– Remonter la pompe de fluide
moteur suivant chapitre 7.1.2 et
revisser la vis de vidange; faire
attention aux joints toriques.
– Raccorder la pompe turbo avec les
tubulures de vide élevé obturées à la
pompe à vide primaire et évacuer
jusqu’à env. 10
-1
mbar, afin d’aspirer
les restes de produits de nettoyage.
Ne pas mettre la pompe turbo en
marche!
– Aérer la pompe turbo et la démonter
de la pompe à vide primaire.
– Remplir la pompe turbo avec du flui-
de moteur - voir chapitre 7.1.2.
– La pompe turbo est prête au service
et peut de nouveau être montée
dans l’installation.
– Lors du premier processus d’évacua-
tion, le temps de pompage est plus
long à cause des restes de produit
de nettoyage.
Fig. 12
40 Max. Flüssigkeitsspiegel
41 Reinigungsmittel
42 Behälter
40 Max. liquid level
41 Cleaning agent
42 Vessel
40 Niveau maximal du liquide
41 Détergent
42 Réservoir
40
41
42
m