Granville-Phillips Micro-Ion 354 E Series, Инструкция по эксплуатации, Страница: 5 / 54

Micro-Ion E Module Instruction Manual 354011, Rev. A
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Contents
Chapter 1 Safety & Introduction
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
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1.1 About These Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.2 Caution and Warning Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.3 Reading and Following Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.4 Definitions of Terms . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.5 Service Guidelines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Chapter 2 Installation
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2.1 Module Components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.2 Pressure Relief Devices . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.3 Installation Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
Step 1 Locate the module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
Step 2 Attach module to vacuum chamber . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
Step 3 Assemble and connect wiring . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
Connecting Cable . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
Power Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
Wiring for Analog Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
Wiring for RS–232 Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
Grounding . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
2.4 Eliminating Radio Frequency Interference . . . . . . . . . . . . . . 16
Chapter 3 Operation Overview
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
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3.1 Analog versus RS–232 Operation Procedures . . . . . . . . . . . 17
3.2 Analog Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
3.3 RS–232 Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
Chapter 4 Analog Operation
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
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4.1 Output Functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
4.2 Preparing to Operate the Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
4.3 Operational Tasks . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
4.4 Turn the Micro-Ion E Gauge ON or OFF . . . . . . . . . . . . . . . 20
4.5 Micro-Ion E Gauge ON/OFF Status . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
4.6 LED Status Indicator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
4.7 Reading Vacuum Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
N
2
or Air Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Correction Factor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
4.8 Overpressure Limit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Chapter 5 RS–232 Operation
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5.1 Output Functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
5.2 Preparing to Operate the Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
5.3 Operational Tasks . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25