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10.4 Ausgabe von Triggersignalen
Die Verwendung des Triggersignales ermöglicht es, bei Erreichen oder Überschreiten eines
vorgegebenen Wertes ein elektrisches Signal auszugeben. Die Triggerpunkte beziehen sich immer
auf den Positionswert (Weg). Das Triggersignal ist Low-aktiv, d.h. eine H/L-Flanke zeigt das
Erreichen eines Triggerpunktes an. Der Bereich, in dem Triggerpunkte generiert werden, wird mit
trgss (untere Position) und trgse (obere Position) bestimmt. Der Abstand der Triggerpunkte wird
mittels trgsi (Intervall) festgelegt. Es ist möglich, den Trigger auf eine steigende (trgedge,Kanal,1),
eine fallende (trgedge,Kanal,2) oder beide Flanken (trgedge,Kanal,3) zu setzen, mit
trgedge,Kanal,0 wird der Trigger deaktiviert.
Die Maßeinheit für trgss, trgse, trgsi ist die aktorspezifische Einheit im geregelten Betrieb (µm,
mrad), die Länge der Triggerimpulse ist als ganzzahliges Vielfaches von 20µs (default = 1*20µs)
einstellbar. Es muss darauf geachtet werden, dass sich Triggerimpulse nicht überschneiden, dazu
ist ggf. die Dauer der Impulse auf Minimum (trglen,Kanal,1) zu setzen und die Verfahr-
geschwindigkeit des Aktors zu verringern.
Weiterhin muss sichergestellt werden, dass der von trgss und trgse eingegrenzte Bereich
vollständig durchlaufen wird (zuzüglich 0,2% des Gesamthubes), andernfalls werden keine
Triggerpunkte generiert, da kein Flankenwechsel erkannt wird.
Achtung:
Während der Betriebsart „Wobbeln“ muss die Ausgabe von Triggersignalen deaktiviert
werden (trgedge = 0).
Beispiel (trgedge = 1...3):
Ein Aktor hat einen geregelten Hub von 80µm; Flanke steigend (trgedge,Kanal,1); trgss,10 [µm];
trgse,30 [µm]; trgsi = 5 [µm], das heißt, die Triggerpunkte liegen bei 10, 15, 20, 25, 30µm. Nach
Erreichen der Position trgss (Messwert>=10µm) wird der Triggerimpuls gesetzt und der nächste
Triggerpunkt berechnet (15µm), der Trigger wird nach n * 20µs ausgeschalten, und es wird auf das
Erreichen der Position 15µm gewartet. Nach Erreichen dieser Position wird der Trigger wieder
gesetzt und erneut die nächste Position berechnet (20µm). Nach Erreichen von 30µm wird der
nächste Triggerpunkt auf 10µm gesetzt, der Trigger wird erst ausgelöst, wenn die Pos 10µm von
"unten", d.h. aus einer Position [10µm - (0,2% * 80µm)] angefahren wird.
Anwendung:
Die kombinierte Benutzung von Triggererzeugung und Scanfunktion erlaubt die hochgenaue
Abrasterung einer Probe. Durch die Verwendung einer Sinusfunktion werden
Beschleunigungskräfte (und damit Schwingungen) minimiert, durch die Triggererzeugung können
Aktionen in genau definierten Aktorpositionen ausgelöst werden.
Abb.: Sinusscan mit Triggerimpulsen auf der steigenden bzw. auf beiden Flanken
