Ulvac C30VR Series, Installation, Operation, Maintenance And Troubleshooting Instructions

Page: 100 / 110

C30VR Installation, Operation, Maintenance, and Troubleshooting
C-2 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
Figure C-1 C30VR schematic diagram
U
L
10
15
#1
0
YW
/
GN
Magn
etic
Va
lve
IN
PUT
P
OWER
A
LAR
M出
力
ON
指
令
CO
MP
RE
SS
OR
OF
F
指
令
CO
MP
RE
SS
OR
C20モ
ー
ド
CO
MP
RE
SS
OR
ON/
OFF
指令
CN
5
REMO
TE
RE
SPON
SE
C
N6
CONN
ECTO
R
TS3 TS2 LPS TS1
TB
1
VV
V
VR2
VR3
VR
1
13 14 43 44 96 95
UL
100
7
#24
E5
YW/ GN
U
L
10
07
#1
8
E5
RD
4 3 2 1
10
7
4
3
12
RD WT BK
オス
側
メス
側
１２
２
１
ＣＮ1
16 11 12 13 15 14
9 8 7
RD
U
L
10
07
#2
4
No.1
POWER
×2
U
L
10
0
7
#1
6
YW
/GN
基
板取付穴
(
T
H
)
基
板取付穴
(
T
H
)
1 2 3 4
FG
BAR
YW
/
GN
YW
/GN
YW/G N
BK
BK
RD
RD
UL
100
7
#18
RD
UL
100
7
#18
RD
WT
BK
U
L10
07
#1
8
4 2
RD
WT
BK BK
WT
RD
BK
WT
RD
AC
20
0V
3
φ
89
6
5
FG
YW
/GN
U
L
10
0
7
#1
6
C
OM
PR
ESS
OR
運転
アン
サー
バッ
ク出
力
GN
YW/GN
U
L
10
07
#1
8
BK
RD
BE YW YW YW BE BE BE YW
E4
BK
RD
E
T
S
R
W
V
U
M
CO
MPRES
SOR
MO
TE
R
TB
2
CO
LD
HE
AD
U
L
1
0
15
#1
4
YW BE BE YW BE YW BE YW YW BE
U
L
10
07
#1
8
UL
1
0
07
#
1
8
UL
100
7
#24
UL
100
7
#24
UL
100
7
#24
UL
100
7
#
2
4
BK BK RD RD
UL
100
7
#
18
UL
100
7
#
18
YW
/
G
N
BK
WT
RD
U
L
10
15
#1
0
U
L
1
0
15
#1
0
UL
10
1
5
#1
0
Cold
Hea
d
No.
1
UL
1
0
07
#1
8
UL
10
0
7
#
2
4
UL
10
0
7
#
2
4
UL
1
00
7
#1
8
UL
100
7
#
18
UL
1
00
7
#2
0
YW BE YW BE YW BE YW BE BE YW BK BK RD BK RD
YW
/G
N
YW
/
G
N
BK BK RD RD
BK
WT
RD
RD BK BK WT RD
YW
/
G
N
WT BK
BK
WT
RD
RD WT BK
BK
WT
RD
5 3 4 2 1
5
E1
OL
1
CP
2
A2 A1
CR
MV1
MV2
MV1
MV2
10
0
T2
12
0
14
4
17
3
0
20
0
0
0
10
0
14
4
17
3
20
0
T1
0
12
0
4
3
2
1
13 14
12
11
10
9
8
7
6
5
LO
AD
LI
NE
CO
M
NO
RY1
26芯フラ
ット
ケーブ
ル
E4
E1
MC
CP
1
CN1
CN
2
TB1
HOU
R
ME
TER
CP
U
B
OAR
D
RE
LAY
BO
ARD
PS1
TB
3
2 4 5 3 7 6 9 8
12 11 14 13 16 15 10
1
10
2 5 4 7 6 9 8 3 1
CN5
2
1
CN2
4 3 1 2
CN
1
1 3
1
CN1
3 2 6 5 4
4
3
1
2
1
CN3
3 2 4
CN9
1 2 4 3
CN3
2 3 5 4 1 7 8 9 6
CN8
1 3 2 6 5 4 1
CN7
4 3 6 5 9 8
11 10
7 2
15 16 13 14 18 19 20 17 12
1
CN4
4 3 6 5 8 7 2 1
CN6
4 3 5 6 2