CONTENTS I
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CONTENTS
1. SAFETY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
2. GENERAL DESCRIPTION AND SPECIFICATIONS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-1
2.1. Auto Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-2
2.2. Filament Power Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-2
2.3. Discharge Power Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-2
2.4. Mass Flow Controllers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
3. INSTALLATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-1
3.1 Unpack . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-1
3.2 Install in Rack Mount Cabinet . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-2
3.3 Ground Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-2
3.4 Connections Between Controller Components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2
3.5 Connect Controller to Ion Source . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5
4. INITIAL OPERATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-1
4.1 Gas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.2 Power On . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.3 Operating Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.3.1 Auto Gas Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-1
4.3.1.1 Program Select . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
4.3.1.2 Gas Setpoints . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-2
4.3.1.3 Emission Setpoint . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
4.3.1.4 Discharge Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-3
4.3.1.5 Enable . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-3
4.3.1.6 Standby . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
4.3.1.7 Setpoint Adjustment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
4.3.1.8 Scratchpad . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
4.3.1.9 Saving a program . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-5
4.3.2 Gas Only Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-6
4.3.2.1 Constant Current Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-6
4.3.2.2 Constant Voltage Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
4.3.3 Manual Gas Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-9
4.4 Remote Enable/Standby . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-10
4.5 Open Filament . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-10
4.6 Discharge Power Limit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-11
5. GENERAL OPERATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.1 Description of Ion-Source/Controller Components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
