horiba SF-1U, Instruction Manual

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J-15
8.3.
A2 アラーム発生
（ストップディテクタ検出異常）
A2 アラーム発生
成膜状態確認 異常
正常 成膜動作確認 異常
異常
測定流量確認
ＶＰ交換 正常 正常 ※修理
異常
警報時間確認 成膜液 異常
の汚れ
時間設定 正常
正常 交換
異常 体積管内
の汚れ
正常
洗浄
※ディテクタ
点検、修理、オーバーホール
※印は幣社又は代理店作業になります。修理依頼を願います。

A2 アラーム （表示 Ａ２：−−−−）
ストップディテクタ検出異常です。スタートディテクタ〜ストップディテクタ検出時間
が、膜割れ／測定範囲外流量等により 120 秒（VP-1U は 180 秒）経過した場合発生します。
体積管の湿らし操作・測定流量確認等を行って下さい。尚、警報時間（120 秒/180 秒）
は変更可能です。⇒6.4
体積管の洗浄方法⇒7.1.3
アラーム解除は、スタートキーを押して下さい。