Ulvac CR16B, Instruction Manual

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YK16-0010-DI-002-02
１．１．３ ！警告！ 感電
要 因 回避方法 ・ 対策
通電部に触れて感電する
① 電気結線は、必ず電源を切ってから行って下さい。
アースは、必ず取って下さい。
② ポンプ運転中はパネルを開かないで下さい。
③ 点検・移設の際には、必ず電源を切って作業して下
さい。
④ 換気口の開口部から、手や細い棒などを入れない
で下さい。
１．１．４ ！注意！ 高温
要 因 回避方法 ・ 対策
高温部で火傷する
① 運転中、真空ポンプ本体やモータ、配管は非常に
高温になりますので触れないでください。
②運転停止後のしばらくは、真空ポンプやモータ、配管
は非常に高温になりますので、パネルを外したりして
触れないでください。