Ulvac CR16B, Instruction Manual

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YK16-0010-DI-002-02
０．３ 安全上の注意事項
作業項目別に危険を回避するための方法と危険なためやってはならない行動を示します。
本製品のお取扱、ならびに本取扱説明書について
重要
本製品を末永くご利用頂くために、本製品の取付、操作、点検あるいは整備を
する前に必ずこの取扱説明書をお読みいただき、安全上の注意事項、本製品
の仕様及び操作方法に関わる事項を十分に理解して下さい。
危 険
本製品は、不活性ガス（空気、窒素、アルゴン）を排気することを前提としており、
他のガス（有毒ガス、燃焼ガス、支燃性ガス、腐食性ガス、爆発性ガス）を排気する
ことは、非常に危険です。
これらの性質を持つガスは排気しないでください。
危 険
燃焼ガス・支燃性ガス・爆発性ガスが、真空ポンプに吸引された場合、運転時だけ
でなく、停止後も残留したガスや生成物が原因で発火・爆発することがあり、非常
に危険です。
これらの性質を持つガスは排気しないでください。
警 告
ご使用の危険物質の詳細を開示いただけない場合や、無害化処理が困難な
物質を排気した場合には、弊社でのメンテナンスその他の取扱いをお断りする
ことがあります。
警 告
製品及び取扱説明書の記述内容は､改良の為、仕様や価格等を予告なしに変
更する場合がありますので、御了承願います。変更は、取扱説明書の表紙右
上にある文書番号を更新し、改訂版として発行します。
警 告
本取扱説明書は製品をご使用になられる最終ユーザーに必ずお渡し下さい。
警 告
本製品を国外に輸出する場合には弊社宛てに一報頂きますと共に、輸出関連
法規の規定に従って必要な手続きをお取り下さいますようお願い致します。
不明な点がありましたら、ご購入頂きました営業所にお問合せ下さい。