•
난류
흐름
—
각
클린
룸에
샘플
프로브를
2
개
이상
설치합니다
.
•
샘플
(
등속
)
프로브가
흐름
방향을
가리키는지
확인합니다
.
페이지의
117
을
참조하십시오
.
•
유리물
,
먼지
,
액체
및
분무로부터
30 cm(12 in.)
이상
떨어진
곳에
샘플
프로브를
보관합니다
.
•
기기
배기
팬
같은
오염원으로부터
30 cm(12 in.)
이상
떨어진
곳에
샘
플
프로브를
보관합니다
.
•
에
표시된
물질을
포함하는
공기를
모니터링하기
위해
이
기기를
사용하지
마십시오
.
표
4
오염
물질
물질
손상
분말
센서를
오염시켜
결과가
잘못되거나
기기가
고장날
수
있습니다
.
액체
센서의
내부
광학
장치를
오염시키고
기기의
교정을
변경합니다
.
참고
:
액체는
기름
방울
형태로
공기
중에
있을
수
있습니다
.
연기
센서를
오염시킵니다
.
튜브
설치
튜브
고리
또는
케이블
타이를
사용하여
튜브를
고정시키고
튜브가
구부
러지지
않게
합니다
.
튜브가
구부러지면
공기
흐름이
줄어들고다음과
같
은
문제가
발생합니다
.
•
공기
유입
흐름이
감소하면
튜브의
내부
벽에
입자가
모일
수
있습니다
.
이
경우
입자가
카운팅되지
않습니다
.
수집된
입자는
임의로
방출될
수
있어
카운트
레벨이
급증하게
됩니다
.
준비
항목
:
•
공기
유입
튜브
— Hytrel
®
Bevaline, Tygon
®
또는
동등한
제품
•
진공
튜브
— Hytrel Bevaline, Tygon
또는
동등한
제품
•
튜브
고리
또는
케이블
타이
1.
샘플
프로브에
기기를
연결하는
데
충분한
길이로
공기
유입
튜브를
자릅니다
.
튜브
길이를
최소로
유지합니다
.
길이가
3 m(10 ft)
를
넘지
않도록
하십시오
.
2.
카운터를
진공
소스에
연결하기
위해
진공
튜브를
자릅니다
.
튜브
길
이를
최소로
유지합니다
.
3.
튜브
끝단에
덮개를
놓아
설치
중에
원치
않는
물질이
튜브
안으로
들
어가지
않게
합니다
.
4.
고리
또는
케이블
타이를
사용하여
1.2 m(4 ft)
이내의
간격으로
튜브
를
부착합니다
.
공기
흐름이
감소하지
않도록
튜브의
굽힘
반경은
최
소
10 cm(4 in.)
이어야
합니다
.
5.
공기
유입
튜브를
기기의
공기
유입
피팅에
연결합니다
.
튜브의
다른
쪽
끝단을
제공된
샘플
프로브에
연결합니다
.
6.
진공
튜브를
카운터의
아래쪽
또는
측면에
있는
피팅에
연결합니다
.
샘플을
채취할
수
있도록
실내가
준비될
때까지
다른
쪽
끝단을
진공
에
연결하지
마십시오
.
전기
설치
배선
안전
정보
경 고
전기쇼크
위험
해당
위치에서
전원을
쉽게
차단할
수
있어야
합니다
.
주 의 사 항
전기
연결
시에는
항상
사전에
기기에서
전원을
분리하십시오
.
기기
연결
작업
시에는
모든
안전
규정을
준수하십시오
.
전원에
연결
외부
전원
(24 VDC)
을
제공된
5
핀
또는
10
핀
커넥터에
연결합니다
.
배선
정보는
및
또는
및
을
참조하십시오
.
외부
전원의
출력
전압이
28 VDC
를
넘지
않아야
합니다
.
외부
전원
1
개에
연결
가능한
기기의
최대
개수는
통신
옵션에
따라
달라
집니다
.
자세한
내용은
기술
지원부에
문의하십시오
.
5
핀
커넥터
배선은
에
설명된
단계를
, 10
핀
커넥터
배선은
에
설명된
단계를
각각
참조하십시오
.
한글
121
Summary of Contents for MET ONE 6003
Page 2: ...English 3 Fran ais 24 Espa ol 48 72 91 113 2...
Page 13: ...Figure 9 5 pin connector wiring Figure 10 10 pin connector wiring English 13...
Page 75: ...1 3 1 1 ModBus FX 2 Status 10Base T 100Base T 2 2 1 3 2 4 3 3 75...
Page 77: ...3 m 10 ft 3 m 10 ft 1 m 3 m 10 ft schedule 80 PVC Cobolite DIN DIN 5 77...
Page 78: ...5 DIN 79 6 90 90 T 78...
Page 81: ...9 5 10 10 81...
Page 83: ...12 1 5 2 6 4 20 mA 3 24 VDC 7 24 VDC 4 8 13 1 3 2 4 VHP IPA 83...
Page 89: ...3 PC CSV 15 1 1 7 cfm L min 2 8 cfm L min 3 9 RH 4 10 5 11 6 1 89...
Page 90: ...9 9 1 90 X 90 X FMS 90...
Page 95: ...2 2 1 3 2 4 3 3 3 1 3 5 2 4 3 0 0 1 cfm 0 3 m 0 5 m F 1 1 0 cfm 0 5 m N 95...
Page 97: ...3 m 3 m 1 m 3 m 80 PVC Cobolite DIN DIN 5 97...
Page 98: ...5 DIN 99 6 90 90 T 98...
Page 99: ...6 1 3 2 90 4 T 2 3 m2 1 2 2 95 30 cm 30 cm 4 4 Hytrel Bevaline Tygon Hytrel Bevaline Tygon 99...
Page 112: ...HACH Japan 9 9 1 112 X 112 X FMS 1 112...
Page 114: ...5 1 CE 1 ISO21501 4 CD 114...
Page 119: ...DIN DIN 5 5 DIN 119...
Page 120: ...120 6 90 90 T 6 1 3 2 90 4 T 2 3 m2 25 ft2 1 120...
Page 123: ...9 5 10 10 123...
Page 125: ...12 1 5 2 6 4 20 mA 3 24 VDC 7 24 VDC 4 8 13 1 3 2 4 VHP IPA 125...
Page 133: ...9 9 1 133 X 133 X FMS 1 133...
Page 134: ......
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