c.
クリーンルームの空気を
5
分間監視し、結果を記録します。
5
分
間のサンプリングで粒子カウントが
0
~
1
になるまでこの手順
を最大
4
回繰り返します。
d.
粒子カウントが
0
~
1
であることが表示された場合、吸気チュー
ブから粒子を取り込んでいます。吸気チューブを交換します。
e.
粒子カウントが
0
~
1
にならなかった場合は、技術サポートにお
問い合わせください。
操作
設定
初期設定時には、装置を
PC
に接続します。
初期設定完了後には、
PC
に直接接続するか、
ModbusTCP
接続経由で設
定を変更することができます。ネットワーク経由での設定では、
LAN
設
ページの
108
を参照してください。
PC
への接続
用意するもの
:
•
セットアップユーティリティ
CD
•
サービスポートケーブル
• Windows
®
2000 Professional
、
Windows XP Professional
、
Windows
Vista (32
ビット
)
、
Windows 7 (32
ビットまたは
64
ビット、
XP
エミ
ュレーションモード
)
がインストールされている
PC
• PC
に
RS232
ポートがない場合は、
USB/RS232
変換アダプタ
1.
PC
に
Microsoft .Net Framework
がインストールされていることを確
認します。インストールされていない場合は、セットアップユーティ
リティ
CD
の
dotnetfx.exe
ファイルを実行してアプリケーションを
インストールします。
注
:
ユーザーは
PC
に
Administrator
としてログオンする必要があります。
2.
セットアップユーティリティ
CD
の
SetupUtility.exe
を
PC
にコピー
します。
3.
サービスポートケーブルを装置のサービスポートと
PC
の
COM
ポ
ートに接続します。
装置を設定する
セットアップユーティリティソフトウェアを使用して、各装置に保存す
る設定を行います。装置に電源が供給されると、新しい設定が検索され
ます。新しい設定が見つからなかった場合は、以前に保存した設定が使
用されます。
1.
PC
にインストールされている
SetupUtility.exe
ファイルを開いて、セ
ットアップユーティリティプログラムを起動します。
2.
[Basic Setup (
基本セットアップ
)]
タブを選択します。
3.
ウィンドウの右側で
[Port (
ポート
)]
フィールドを探します。装置が
接続されている
PC
の
COM
ポートを選択します。
4. [Read Instrument (
装置の読み取り
)]
をクリックします。ユーティ
リティにより、装置に保存されているデータが読み取られます。
5.
[Instrument Information (
装置情報
)]
セクションに表示されているデ
ータ
(
モデル番号、通信オプション、ファームウェアバージョン、通
信アドレス
(
該当する場合
))
が正しいことを確認します。
6.
[General (
全般
)]
セクションで、設定を選択します。
オプション
説明
カウントモード
カウントモードを設定します。アナログユニット
のアナログ出力には影響しません。
差分
-
各チャネルの表示されている粒子カウント
は、各チャネルサイズのカウントです。
積算
(
デフォルト
) -
各チャネルの表示されている
粒子カウントは、各チャネルサイズとそれよりも
大きいチャネルサイズのカウントです。たとえ
ば、チャネルが
0.3 µm
の場合、
0.3 µm
以上のサ
イズの粒子がカウントに含まれます。
Sample Timing:
Sample (
サンプルタイ
ミング
:
サンプル
)
各サンプルの時間を設定します
(
デフォルト
=
00:01:00 = 1
分
)
。
Sample Timing: Hold
(
サンプルタイミング
:
待
機
)
サンプル採取後にデータ収集が停止するまでの時
間を設定します
(
デフォルト
= 00:00:00)
。
カウント周期
データ収集が停止して待機時間が開始する前に取
得されるサンプル数を設定します。
日本語
105
Summary of Contents for MET ONE 6003
Page 2: ...English 3 Fran ais 24 Espa ol 48 72 91 113 2...
Page 13: ...Figure 9 5 pin connector wiring Figure 10 10 pin connector wiring English 13...
Page 75: ...1 3 1 1 ModBus FX 2 Status 10Base T 100Base T 2 2 1 3 2 4 3 3 75...
Page 77: ...3 m 10 ft 3 m 10 ft 1 m 3 m 10 ft schedule 80 PVC Cobolite DIN DIN 5 77...
Page 78: ...5 DIN 79 6 90 90 T 78...
Page 81: ...9 5 10 10 81...
Page 83: ...12 1 5 2 6 4 20 mA 3 24 VDC 7 24 VDC 4 8 13 1 3 2 4 VHP IPA 83...
Page 89: ...3 PC CSV 15 1 1 7 cfm L min 2 8 cfm L min 3 9 RH 4 10 5 11 6 1 89...
Page 90: ...9 9 1 90 X 90 X FMS 90...
Page 95: ...2 2 1 3 2 4 3 3 3 1 3 5 2 4 3 0 0 1 cfm 0 3 m 0 5 m F 1 1 0 cfm 0 5 m N 95...
Page 97: ...3 m 3 m 1 m 3 m 80 PVC Cobolite DIN DIN 5 97...
Page 98: ...5 DIN 99 6 90 90 T 98...
Page 99: ...6 1 3 2 90 4 T 2 3 m2 1 2 2 95 30 cm 30 cm 4 4 Hytrel Bevaline Tygon Hytrel Bevaline Tygon 99...
Page 112: ...HACH Japan 9 9 1 112 X 112 X FMS 1 112...
Page 114: ...5 1 CE 1 ISO21501 4 CD 114...
Page 119: ...DIN DIN 5 5 DIN 119...
Page 120: ...120 6 90 90 T 6 1 3 2 90 4 T 2 3 m2 25 ft2 1 120...
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Page 133: ...9 9 1 133 X 133 X FMS 1 133...
Page 134: ......
Page 135: ......