5-3-4
단계 프로그램 모드 운전
Operation of the STEP PROGRAM
(
Step Program) mode
프로그래밍 가능한 진공 컨트롤러로 사용하기에 편리한
20
단계로 구성된 두가지 프로그램이 있다
.
이 컨트롤러를
사용하여 고정값 제어
fixed-value control,
경사 제어
slope
control
및 대기 방출이 가능하다
.
기울기 제어
slope control
에서는
hysteresis
(ΔP)
로
제어하면서 설정된 시간 동안 슬롭 시작 압력
slop start
pressure
에서 설정 압력으로 압력이 감소한다
.
설정
압력에 도달하면 설정 시간 동안
hysteresis (ΔP)
내에서
고정 값 제어
fixed-value control
가 수행된다
.
(
시간이 우선 될 때
,
프로세스는 설정된 압력에 도달하기
전에 다음 단계로 진행할 수 있다
.)
프로그램 설정 화면
Program setting screen
에서 단계
프로그램
step program
을 설정할 수 있다
.
각 단계의 항목
및 초기값은 다음과 같다
.
Set pressure (Press)
:
VAC [hPa]
Step operation time (Time)
:
0 [min]
Hysteresis (
ΔP)
:
Auto
Priority condition select (Priority)
:
Press
프로그램 운전 설정 화면에서
Program operation setting
screen
에서 프로그램 운전을 설정할 수 있다
.
설정 항목 및
초기값은 다음과 같다
:
Start step number (Start Step No)
:
1
Finish step number (Finish Step No)
:
20
Number of repetitions (Repeat)
:
1
Automatic leak (Auto Leak)
:
ON
Automatic cleaning (Auto Cleaning)
:
3 [min]
Recovery from power failure (Power Fail)
:
Cont
【
Caution
】
운전이 시작된 후 첫 번째 단계는 설정된 시간 또는 우선
순위 조건에 관계없이 설정된 압력까지 계속되며 설정된
압력에 도달하면 다음 단계로 진행한다
.
반복 운전 중의 기동 스텝
starting step
은 설정된 조건에
따라 운전한다
.
StepNo2
ΔP
Time
Pressure
StepNo1
StepNo3
StepNo4
StepNo5
StepNo
2
StepNo
3
StepNo
4
StepNo
5
- 26 -