(12)
자동 클리닝 설정
Setting Automatic cleaning (Auto Cleaning)
설정 범위
：
Off, 1
～
10min(increment:1)
초기값
：
3 min
자동 리크가 완료된 후 펌프 및 제어 솔레노이드
밸브의 자동 클리닝 시간을 설정할 수 있다
.
※ 자동 클리닝은 제어 솔레노이드 밸브 또는
다이어프램 진공 펌프에서 액화된 증기를 퍼지하는
기능이며 일반적으로
Off
되면 안된다
(
시간
설정하세요
).
(11)
자동 리크 설정
Setting Automatic Leak (Auto Leak)
설정 범위
：
On and Off
초기값
：
On
운전 종료시 감압 해제를 위한
On
과
Off
를 설정할 수
있다
.
On
：
운전이 완료되면
“
펌프 출력
Off
→
자동 리크
Automatic leak“
라는 일련의
작업이 자동으로 수행된다
.
【
Caution
】
자동 리크가
Off
로 설정하면
,
자동 클리닝은 비활성화
된다
.
일반적으로
,
자동 리크
Auto Leak
는
On
으로 설정
.
■
Program operation setting screen
■
Program operation setting screen
(13)
전원 장애 복구 설정
Setting recovery from power failure (Power Fail)
설정 범위
：
Cont, Stop
초기값
：
Cont
단계 프로그램 운전 중에 발생할 수 있는 정전으로부터의
복구 후에 운동 모드를 설정할 수 있다
.
Cont
（
continue)
：
전원이 차단되기 전에 운전 중인
단계에서 운전을 재개한다
.
Stop
（
stop
）：
운전 중지한다
.
Back
End
Leak
Run
Stop
STEP PROGRAM
Standby
P No
1
1013
hPa
Start Step No
Finish Step No
Repeat
Auto Leak
Power Fail
1
20
1
On
Cont
Auto Cleaning
3
min
Back
End
Leak
Run
Stop
STEP PROGRAM
Standby
P No
1
1013
hPa
Start Step No
Finish Step No
Repeat
Auto Leak
Power Fail
1
20
1
On
Cont
Auto Cleaning
3
min
- 30 -
