문제점
원
인
대 응 책
압력 센서 알람 발생
.
Pressure sensor alarm occurred.
『
(03)Pressure Sensor
』
어떤 사용 가능한 모드에서
운전하는 중에
,
측정된 압력이
측정 범위를 벗어나 작동 중지됨
.
다이어프램 진공 펌프와 감압
용기에 연결된 파이프가 혼합된
상태로 운전이 시작되면 동일한
알람이 발생됨
.
증발물
(evaporate)
에 진공 호스를
제거하고 진공 호스 전체 길이를 따라
연결이 잘 되어있는지 확인합니다
.
[Clr]
키를 눌러 알람을 해제합니다
.
※알람을 해제한 후에도 곧 압력 센서
알람이 다시 발생하면 제품 구입처로
연락하시기 바랍니다
.
리크 알람 발생
.
Leak alarm occurred.
『
(04)Leak
』
청소가 완료되면 측정된 대기압은
900hPa
이하이며 대기로 방출되지
않음
.
리크 노즐에서 이물질이 없는지
점검합니다
.
[Clr]
키를 눌러 알람을 해제합니다
.
※
1.
압력 센서나 솔레노이드 밸브에
고장이 있는 경우
,
재개된 운전 중에
알람이 다시 발생합니다
.
이 경우 제품
구입처로 연락하시기 바랍니다
.
고압 알람 발생
.
High pressure alarm occurs.
『
(05)High Pressure
』
이 알람은 측정된 압력이 가압
면
(pressurizing side)
까지 측정
범위를 벗어났을 때 나타남
.
압력이
1067hPa(1067mBar,
800mmHg(Torr))
을 초과했을 때
발생함
.
다이어프램 진공 펌프의 흡입 및
배출 파이프가 전환될 때도 유사한
증상 발생
.
다이어프램 진공 펌프와 감압 용기에
연결된 파이프를 분리하고 흡입 및
배출을 확인한 다음 파이프를 다시
연결합니다
.
[Clr]
키를 눌러 알람을 해제합니다
.
데이터 에러 발생
.
Data error occurs.
『
(06)EEPROM DATA
』
전원을 켤 때 비 휘발성
(non-
volatile)
메모리의 사용자
데이터
(user data)
에 오류 발생
.
전원을 일단 끄고 잠시 기다렸다가 다시
전원을 켭니다
.
시스템 데이터 오류가 반복되면
시스템을 초기화하여 비 휘발성
메모리를 초기화합니다
.
※
33
페이지의 초기화
initialization
참조
.
메모리 쓰기 오류 발생
.
Memory write error occurs.
『
(07)EEPROM WRITE
』
비 휘발성 메모리의 사용자
데이터에 오류 발생함
.
제품 구입처로 연락하시기 바랍니다
.
위의 설명에 없는 표시가
나타남
.
Indication not listed in the
manual appears.
과도한 잡음으로 인한 악영향
.
장비 주변에 과도하게 소음을 방출하고
있는 장치가 있는지 확인하고 전원을
다시 켭니다
.
이 증상이 다시 발생하면
,
제품 구입처로 연락하시기 바랍니다
.
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※이 제품은 모든 종류의 용매를 수용하지 않습니다
.
일부 용매는 전자 밸브 또는 압력 센서를 열화시켜 성능을 저하시킬 수 있습니다
.
전자 밸브와 압력 센서는 소모품입니다
.
센서의 교체가 필요한 경우에는 제품 구입처로 문의하시기 바랍니다
.
