- 40 -
Bottom plate
바닥판
제어 솔레노이드 밸브
Control solenoid valve assembly
Body
바디
Diaphragm (white part)
다이어프램
Inside of the
body
바디 안쪽
Spring
※청소 포인트
(
직사각형 표시부분
)
Flat head screw x 2
(
M3
)
접지 나사
Body
바디
Diaphragm
다이어프램
Coil assembly
코일
(
1
)
전원 스위치와 차단기
residual current
device
를 끈다
.
(
2
)
후면의 전자 밸브 파이프를 제거하고 십자
드라이버로 밸브 커버를 제거한다
.
(
3
)
진공관 유니언 너트
(union nut of vacuum
pipe)
를 풀고 밸브에서 나사
(M4
×
2)
를 제거한다
.
(
4
)
밸브에서 나사
(M3
×
2)
를 제거하고 밸브를
분해한다
.
기본적으로 밸브는 코일
coil,
바디
body
및 바닥판
Bottom plate
으로 분해된다
.
※ 코일의 다이어프램
diaphragm
에는 스프링이
있다
.
나사를 제거하면 다이어프램이 바디를 밀어
올리므로 부품을 잃어버리지 않도록 주의한다
.
(
5
)
부품에 결정화된 용매를 완전히 청소한다
.
다이어프램과 수지 부품
(resin part)
를 조심히
다루어 손상되지 않도록 한다
.
※ 다이어프램 및 수지 부품이 손상되면 감압시
오작동이 일어날 수 있다
.
이 부분을 주의하여 다룬다
.
(
6
)
부품 분해 과정을 역으로 하여 부품을 조립한다
.
6-3
전자 밸브 청소
Cleaning electromagnetic valve
(only for models N-3010, N-3010V, and N-3010M)
Cover of electromagnetic
Valve
전자 밸브 커버
Screw
(
M4
×
2
)
나사
Union nut for vacuum pipe
진공관 유니온 너트
Back surface
뒷면