Laserscale SET-HD100, Инструкция по эксплуатации

Страница: 30 / 74

20
(J)
SET-HD100
8-2. 精度保証を行なう取付け誤差範囲と環境および回転精度の条件
項目 仕様 注記
回 転 軸 に
対 す る ス
ケ ー ル の
円周振れ スケールユニット内径部
のメカ基準の場合 0.010 mm スケールユニットの内径部の基準面を
基 準 と し た 取 付 け、 も し く は 顕 微 鏡 を
用いてスケール面上に記録された線を
基準として取付けを行なってください。
スケール面上に記録された線の詳細につ
いては、「3-1-3. 取付け手順例」を参照し
てください。
顕微鏡を用いてスケール
面上に記録された線基準
の場合 0.020 mm
スケールを取付ける面の全振れ 0.010 mm 取付け時の公差、回転運動時の変動を含
みます。
ヘッドユニットを取付ける面の円周振
れ 0.050 mm 取付け時の公差、回転運動時の変動を含
みます。詳細は「9. 外形寸法図」を参照
してください。
ス ケ ー ル
ユ ニ ッ ト
に 対 す る
ヘ ッ ド ユ
ニ ッ ト の
同軸度 ヘッドユニット内径基準 φ 0.040 mm 付属の心出し治具による取付けを行なう
ことが可能です。基準面等の詳細は「9.
外形寸法図」を参照してください。
ヘッドユニット外径基準 φ 0.020 mm 外形基準による取付けを行なうことが可
能です。基準面等の詳細は「9. 外形寸法
図」を参照してください。
スケールとヘッドの基準面間距離 1.503 0.020 mm 取付け時の公差、回転運動時の変動を含
みます。
ステージの軸振れ 0.010 mm 未満
自己校正時の回転精度 1 〜 10 min -1 自己校正時の回転精度が悪い場合は校正
できないことがあります。
取 付 け 時
の 締 め 付
けトルク ヘッドユニット (M6) 1.0 0.1 N·m トルクレンチを用いて管理してください。
締付けトルクの不均一や、強すぎは精度
悪化や破損の原因となります。
スケールユニット (M4) 0.6 0.06 N·m
8-3. 校正実施条件
発行する校正証明書の校正実施条件を以下に示します。
項目 条件 注記
気温 20 1℃
角度点数 1,048,576 点
測定信号 ABZ 相 A 相の立ち上がりを角度点とします。
Z 相信号（原点信号）を検知後、最初に
検知した A 相の立ち上がりを角度点番
号 1 とします。
回転条件 CW、CCW
5 min
-1
取付け位置 「9. 外形寸法図」に記載の標準
取付け位置
スケールユニット・ヘッドユニットそ
れぞれ回転軸対称に 90°ずつ変化させ
る 4 通りの配置をした計 16 通りの取付
け状態で測定し、角度偏差と不確かさ
を求めます。