ISVT IMC1300, Инструкция по эксплуатации, Страница: 7 / 54

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Chapter One : General Information
Introduction
IMC1300 Flow & Pressure Controller는 기본적으로 MFC(Mass Flow Controller)에
Power(+/-15VDC)를 공급하고 Flow량을 Display하며 안정된 Set Point Voltage
(0∼5VDC)를 주어 MFC가 정확하게 Control될 수 있도록 하는 장치이다.
최대 8개의 MFC를 연결할 수 있으며, MFC를 Control할 수 있는 Channel PCB
(Printed Circuit Board)는 1장 당 2Channel(MFC 2개 연결)로 구성 되어 있다.
그러므로 MFC를 연결할 수 있는 확장 성을 보면 2,4,6,8식으로 2Channel씩 추가
할 수 있음을 알 수 있다. 추가된 PCB는 처음 Power를 켰을 때 자동으로 인식하
게 설계되었다. 또한, 2Channel(PCB 한 장)의 단위로 MFC를 연결 하지 않고
Capacitance Manometer Display Board를 이용하여 압력을 Display 할 수 있도록
설계되었다. (1MFC / 1CM가능함)
Option 사양으로 Upstream Pressure Control Board를 추가 하면 따로 Pressure
Control Mode로 들어갈 수 있어서, 각 Channel에 연결된 MFC중에서 원하는
Channel들을 임의로 선택하여 Gas양을 가지고 원하는 압력을 자동으로 Control
할 수 있으며 동시에 압력도 Display할 수 있다.
여기서 Pressure Control Channel로 지정되지 않은 Channel은 따로 독립적으로
Flow양을 Control할 수 있다.
Ratio Control Function을 이용 시 8개의 Channel중 1개 Channel을 Master로
나머지 7개 Channel중 원하는 Channel들만 Slave로 설정해 각Channel별로 요구
되어지는 Gas량의 Ratio를 지정해주고, Master Channel Flow Rate의 변화에 따른
지정된 Ratio값의 Percentage에 따라 자동으로Slave Channel들의 Flow Rate를
조정할 수 있다. 또한 Slave로 지정되지 않은Channel들은 Ratio Control 기능과
관계없이 독립적인 운영이 가능하다. 또한 Accumulation 기능을 이용하여 각
Channel별로 지정한 시간만큼의 Total Flow량을 볼 수 있다.
이 모든 것이 Micro Processor로 Control되며 RS-232C Interface를 이용한
PC Control도 가능하다