ISVT IMC1300, Инструкция по эксплуатации, Страница: 36 / 54

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Ratio Control
IMC1300 Flow & Pressure Controller에서 Ratio Flow Control을 한다는 의미는,
Master에 해당하는 MFC에 대한 Flow Control에 비례해서 Slave에 해당하는
MFC의 Flow 양이 Master에 종속되어 Control되는 것을 말한다.
그러면, Slave Channel의 비율을 지정해 주어야 하는데 이 방법은 간단하다.
단순히 앞장에서 설명한 Flow Setting 하는 방법과 동일하며, 각 Slave Channel의
Full Scale Range를 100%로 생각하고 원하는 %(setting)를 입력하면 된다.
1. 똑 같은 용량의 MFC 3개를 가지고 Ratio Control을 한다고 가정하면,
MFC Full Scale Range Master : 1000 sccm
Slave 1: 1000 sccm
Slave 2: 1000 sccm
Slave 1 의 setting -> 500 sccm
Slave 2 의 setting -> 250 sccm 로 맞추었다면,
이 의미는 Master를 1000 sccm 을 흘렸을 경우에 Slave Ch의 MFC가
흘릴 수 있는 유량을 의미하는 것이다. 따라서 위와 같은 조건에서
Master를 500 sccm으로 줄이면, Slave 1 은 250 sccm, Slave 2 는 125
sccm이 흐를 것이다.
1: 0000 0000
cc
2 : 0500
0500
cc
3 : 0250
0250
cc
4 : 0125 0125
cc
m
s
s