ISVT IMC1300, Инструкция по эксплуатации, Страница: 25 / 54

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4. Range를 맞춘 다음에 [ENT] key를 누른다.
5. Down scroll key인 [▼] key를 눌러서 Cursor ( -> )를 "Unit"에 가져다
놓고 숫자 key [1] : "SLM" or [2] : "SCCM" 으로 설정한다.
예 : Range 139 sccm을 설정할 경우나,
Range 100 sccm, N2 Gas용 MFC를 가지고 Ar Gas를 흘릴 경우
( Ar Gas의 Correction factor가 1.39 일 때 )
1) 일단 Range를 [139]으로 맞추고 [ENT]를 누른다.
2) "Unit" 는 초기값이 [SCCM]이므로 따로 맞출 필요 없이 "ENT"
를 누르면 저장이 되고 Sub Menu로 빠져 나온다.