ISVT IMC1300, Инструкция по эксплуатации, Страница: 37 / 54

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2. 각기 다른 용량의 MFC 3개를 가지고 Ratio Control을 한다고 가정하면,
MFC Full Scale Range Master: 1000 sccm
Slave 1: 2000 sccm
Slave 2: 5000 sccm
Slave 1 의 setting -> 1000 sccm
Slave 2 의 setting -> 2500 sccm 로 맞추었다면,
이 의미는 Master를 1000 sccm 을 흘렸을 경우에 Slave Ch의 MFC가
흘릴 수 있는 유량을 의미하는 것이다. 따라서 위와 같은 조건에서
Master를 500 sccm으로 줄이면, Slave 1 은 500 sccm, Slave 2 는
1250 sccm이 흐를 것이다.
1: 0000 0000
cc
2 : 0500
0500
cc
3 : 0500
0500
cc
4 : 1250 1250
cc
m
s
s