Inficon Transpector XPR 3+, Руководство по эксплуатации

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TOC - 3
Transpector XPR 3+ Operating Manual
3.5 Scanning Characteristics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10
3.6 The Zero Blast . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
3.7 High Pressure Effects. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
Chapter 4
Applications Guide
4.1 How to Interpret the Result. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.1 Qualitative Interpretation of Mass Spectra . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.2 Quantitative Interpretation of Mass Spectra
(Calculating Partial Pressures). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-9
4.1.3 Additional Information for Interpreting Mass Spectra . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-15
Chapter 5
Transpector XPR 3+ Operation and Best Known Methods
5.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.2 Precautions for Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.3 Pirani Interlock Protection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.4 FabGuard Control. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.4.1 Transpector XPR 3+ Configuration— I/O Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.4.2 Transpector XPR 3+ BKM for Pirani Interlock Operation . . . . . . . . . . . . . . . 5-6
5.5 Using Transpector XPR 3+ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7
5.5.1 Leak Detection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7
5.5.2 Recipe Generation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7
5.5.3 Mass Scale Tuning. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-8
5.5.4 Transpector XPR 3+ Filament . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-8
5.5.5 High Pressure Electron Multiplier . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-8
Chapter 6
Transpector XPR 3+ Low Pressure EM
6.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.2 Transpector XPR 3+ Filament Caution . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.3 Electron Multiplier Caution . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.4 Quick Start . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
6.5 Purpose of the Transpector XPR 3+ Low Pressure EM Option
Gas Analysis System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
6.6 General Description of Transpector XPR 3+ Low Pressure EM
Option Gas Analysis System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3
6.7 Specifications for Transpector XPR 3+ Low Pressure EM Option
Gas Analysis System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-4
6.8 Supplied Items . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-5
6.9 XPR 3+ Low Pressure EM Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-5
6.10 XPR 3+ Low Pressure EM Operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-5