Gamma Vacuum DIGITEL QPC, Инструкция по эксплуатации

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Contents
1.
Safety and compliance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.1. Definition of Warnings and Cautions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.2.
Safety symbols. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.3. Warnings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.4. Safety notices. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.
General information. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.1. Approvals. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
3.
Unpacking the controller. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3.1. Inspect for any obvious damage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3.2. Check the equipment received. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
4.
Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.1. Required items. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.2. Installation procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5.
Controller configuration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.1. Number of HV channels. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.2. Output voltage polarity type for each HV channel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.3. Type of the HV output connectors. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.4. Number of output connectors per HV channel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.5. Communication interface. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.6. DIGITEL QPC Setup. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
6.
Pressure measurement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
7.
Front panel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
7.1. Description. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
8.
HV control or ion pump operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
8.1. Prior to using an ion pump. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
8.2. Prior to turning on HV and starting an ion pump. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
8.3. Turn HV on and off. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
9.
Touchscreen user interface. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
9.1. Home screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
9.2. Supply setup. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
9.3. Supply setup advanced options. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
9.4. System setup. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
9.5. Display setup. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
9.6. Analog output. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
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