Ulvac PBL Series, Instruction Manual

Page: 11 / 47

TOC-1
Contents
Before Using This Pump
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ⅰ
Safety Indications
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ⅱ
Meanings of signal words
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ⅱ
Meanings of symbol marks
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ⅱ
Warning Label Types and Display Positions
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ⅲ
Warning Label Display Positions
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ⅳ
Warranty Terms
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ⅵ
Warranty Target
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ⅵ
Warranty Period
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ⅵ
Warranty Scope
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ⅵ
Disclaimer
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ⅵ
Response
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ⅶ
Miscellaneous (warranty terms)
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ⅷ
About This Document
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ⅷ
Target Models
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ⅷ
1. To Ensure Safe Use
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １
1.1 Handling of This Pump
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
1
1.2 Acceptance, Transport, and Storage ……………………………………………… 2
1.2.1 Acceptance …………………………………………………………………………………… 2
1.2.2 Transport ………………………………………………………………………………………… 2
1.2.3 Storage …………………………………………………………………………………………… 3
1.3 Installation and Operation ………………………………………………………… 3
1.4 Disposal ………………………………………………………………………………… 4
1.5 Protective device ……………………………………………………………………… 4
1.6 Risks and Safety Measures Specific to This pump ………………………………
4
1.6.1 Vacuum pumping and exhaust of hazardous gases or substances …………………… 4
1.6.2 Transport of heavy objects ………………………………………………………………………. 5
1.6.3 Electrical shock …………………………………………………………………………………… 5
1.6.4 High temperature ……………………………………………………………………………… 5
1.6.5 Ruptures …………………………………………………………………………………………… 5
1.6.6 Leakage of hot cooling water ……………………………………………………………… 6
1.7 Safety Data Sheet ………………………………………………………………… 6
2. Product Overview ……………………………………………………… 7
2.1 Features ………………………………………………………………………………. 7
2.2 Performance Curves ………………………………………………………………… 7
2.3 Part Names ……………………………………………………………………… 8