Ulvac MBS-C, Instruction Manual

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Table of Contents
Ⅱ
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
TABLES
Table 1-1 Models of MBS-C
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2
Table 1-2 Cable Options for MBS-C “I/O” connecting
･･･････････････････
2
Table 2-1 Ratings of MBS-C
････････････････････････････････････････
3
Table 3-1 Pin assignments and signals
･･･････････････････････････････
4
Table 3-2 Connectors for wiring
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4
Table 5-1 Status Display of MBS-C
･･･････････････････････････････････
8
Table 6-1 Troubleshooting Procedure
･････････････････････････････････
9
Table 2-A Example: Another combination of MBS-compatible Cable
･････
16
Table 2-B
Specified Option Cables (Mainly Thermal Control) :Ordered products ･
17
Table 3-A Pin assignments of MBS-compatible Cable connectors
････････
18
SHIPPING LIST
Our product has been fully inspected before shipment. However, please
make sure that there is no damage or shortage of delivered items by
checking the shipping list below and the exterior of the products.
COMPONENTS QUANTITY
CRYO METER MBS-C １
I/O Connector-kit
(*) １
K(CA) plug １
Instruction Manual
１
(*)
Standard attachment in case of no option specified. Option cable and/or plugs
shown in Table 1-2 are attached instead of the kit by your specifying of the
option.
Note to Users
ULVAC CRYOGENICS INC. ships the products that have been passed the
inspection and adjustment procedure. Please contact our customer support if
you have any problem. Any modification and/or adjustment should not be
performed without our permission. Otherwise, it will cost on the verification,
inspection, adjustment, and repair even in the warranty period.