Contents
0
．
Introduction
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01
0.1 Before using the MBS-053/MBS-053-01
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01
0.2
Safety
symbols
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03
0.3
Cautions
for
safety
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05
1
．
For
Safe
Operation
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1
1.1 Hazards peculiar to the pump and safety measures
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1
1.1.1
Danger
Leakage of hazardous gases and substances
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1
1.1.2
Warning
Electric shock
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2
1.1.3
Caution
High temperature
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2
1.1.4
Warning
Explosion
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4
1.2 Safety Data Sheet (SDS)
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4
2
．
Specification
table
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5
2.1
Specification
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5
2.2 Dimensional drawing (for MBS-053/MBS-053-01)
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6
3
．
Design of vacuum pumping system
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7
3.1
Pumping system
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7
3.2
Fore
pump
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9
3.3
Ultimate pressure
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9
3.4
Pumping speed
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9
4
．
Installation
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10
4.1 Installation of a pump
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10
