Table of contents
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7.3.1 Digital outputs on "X3" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
7.3.2 Accessory connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
7.3.3 Analog output on "X3" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
7.3.4 Control via interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
7.3.5 Digital inputs on "X3". . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
7.4 Operation with the Pfeiffer Vacuum parameter set . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
7.4.1 Factory settings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
7.4.2 Checking the adjustments. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
7.4.3 Gas type dependent operations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
7.4.4 Set value power consumption . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
7.4.5 Run-up time. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
7.4.6 Adjusting the rotation speed switchpoint. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
7.4.7 Rotation speed setting mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
7.4.8 Standby . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
7.4.9 Rotation speed set value. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
7.4.10 Operation mode backing pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
7.4.11 Operation with accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
7.4.12 Vent modes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
7.4.13 Monitoring the thermal load. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
Pfeiffer Vacuum Protocol for "RS-485" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
8.2.1 Example 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
8.2.2 Example 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32