56
■ TD-VS
TD-01/-M01
TD-03/-M03
10
20
30
40
50
60
6
0.05MPa
1.0MPa
Hz
0
0.25
0
15
0.50
30
0.75
45
1.00
60
1.25
75
1.50
90
ℓ/min
ℓ/H
10
20
30
40
50
60
6
0.05MPa
1.0MPa
0
0.05
0
3
0.10
6
0.15
9
0.20
12
0.25
15
0.30
18
Hz
ℓ/min
ℓ/H
TD-05/-M05
TD-1/-M1
10
20
30
40
50
60
6
0.05MPa
1.0MPa
0
0.1
0
6
0.2
12
0.3
18
0.4
24
0.5
30
0.6
36
Hz
ℓ/min
ℓ/H
10
20
30
40
50
60
6
0.05MPa
1.0MPa
0
0.25
0.50
0.75
1.00
1.25
0
15
30
45
60
75
Hz
ℓ/min
ℓ/H
Specifications/Outer dimensions