54
■ TD-S6
TD-01/-M01
TD-03/-M03
TD-05/-M05
TD-1/-M1
10
20
30
40
50
60
6
ℓ/min
ℓ/H
0.05MPa
1.0MPa
Hz
0
0.05
0.10
0.15
0.20
0.25
0
3
6
9
12
15
10
20
30
40
50
60
0.05MPa
1.0MPa
0
0.05
0.10
0.15
0.20
0.25
0.30
0.35
0.40
0
3
6
9
12
15
18
21
24
Hz
ℓ/min
ℓ/H
10
20
30
40
50
60
0.05MPa
1.0MPa
0
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
0.6
0.7
0.8
0
6
12
18
24
30
36
42
48
Hz
ℓ/min
ℓ/H
10
20
30
40
50
60
6
0.05MPa
1.0MPa
0
0.25
0
15
0.50
30
0.75
45
1.00
60
1.25
75
1.50
90
ℓ/min
ℓ/H
Hz
Specifications/Outer dimensions