f.
IC
용기를
조심스럽게
장착합니다
. IC
용기
중앙에
압력을
가합니다
.
g.
유량계를
할로겐
스크러버
하단
연결부에
연결합니다
.
유량은
150mL/min ± 5%
여야
합니다
.
h.
할로겐
스크러버를
조심스럽게
장착합니다
.
할로겐
스크러버
중앙에
압력을
가합니다
.
i.
유량계를
필터
하단
연결부에
연결합니다
.
유량은
150mL/min ± 5%
여야
합니다
.
j.
입자
필터와
함께
필터
홀더를
설치합니다
.
7.
TEIS2
소프트웨어에서
Visual devices(
시각적
장치
)
를
엽니다
.
Total flow(
총
유량
)
상자는
총
유량을
mL/min
단위로
표시합니다
.
질소
검출기가
없는
분석기의
경우
유량은
150mL/min ± 5%
여야
합니다
.
질소
검출기가
있는
분석기의
경우
유량은
200mL/min
± 5%
여야
합니다
.
한국어
153
Summary of Contents for QP 1680-TOC/TNb
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