g.
将流量计连接到卤素洗涤器的底部接口。
流量必须为
150 mL/min ± 5%
。
h.
小心地安装卤素洗涤器。在卤素洗涤器的中间施加压力。
i.
将流量计连接到过滤器的底部接口。
流量必须为
150 mL/min ± 5%
。
j.
一起安装颗粒过滤器及其管架。
7.
在
TEIS2
软件中,打开
Visual devices
(可视设备)。
Total flow
(总流量)框显示总流量,单位为
mL/min
。对于未配备氮气检测器的分析仪,流量必
须为
150 mL/min ± 5%
。对于配备氮气检测器的分析仪,流量必须为
200 mL/min ± 5%
。
8.
启动方法
“Test method: Send sampler to IC port to check system pressure”
(测试方法:将取样器
移动至
IC
端口以检查系统压力)。分析仪将取样器移动至
IC
端口以关闭
IC
端口进口。
Condenser
(冷凝器)框显示冷凝器的温度。当设置为
1 °C
时,该值必须为
1 °C ± 0.5 °C
。
中文
97
Summary of Contents for QP 1680-TOC/TNb
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