List of Figures
Figure 1: Titanium Sublimation Pump (TSP). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
Figure 2: Liquid nitrogen cryoshroud. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
Figure 3: Ambient sputter shield. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
Figure 4: DIGITEL TSPq standalone configuration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
Figure 5: DIGITEL TSPq + Remote TSP controller configuration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
Figure 6: Front panel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
Figure 7: Home screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
Figure 8: Home screen (control buttons visible). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
Figure 9: TSP setup screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
Figure 10: Display setup screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
Figure 11: Digital input setup screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
Figure 12: Serial port setup screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Figure 13: Ethernet setup screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Figure 14: Rear panel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
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