Gamma Vacuum DIGITEL, Instruction Manual

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Contents
1.
Safety and compliance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.1. Definition of Warnings and Cautions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.2.
Safety symbols. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.3. Warnings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.
General information. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.1. Approvals. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
3.
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
3.1. Titanium Sublimation Pump (TSP). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
3.2. Liquid Nitrogen (LN2) cryoshroud. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
3.3. Ambient sputter shield. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4.
Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.1. Pre-installation checks. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.2. Inspect for any obvious damage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.3. Safety notices. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.4. Required Items. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5.
Controller configuration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.1. Input mains a.c. voltage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.2. Number of TSP pump connectors. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.3. DIGITEL TSPq standalone configuration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.4. DIGITEL TSPq + Remote TSP controller configuration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
6.
Front panel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
7.
Touchscreen user interface. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
7.1. Home screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
7.2. TSP setup. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
7.3. Display setup. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
7.4. Digital input setup. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
7.5. Serial port setup. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
7.6. Ethernet interface setup. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
8.
Rear panel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
9.
Serial communication. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
9.1. Gamma protocol over serial connection. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
9.2. Gamma protocol response packet structure over serial connection. . . . . . 27
9.3. CRC checksum example. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
9.4. Gamma protocol commands. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
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