Agilent Technologies 9191610, User Manual

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2 Anleitung zur Installation
Bedienungsschritte
28/98 VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H)
Bedienungsschritte
Es ist zu kontrollieren, daß die Steuereinheit in bezug auf die Pumpe
richtig gepolt ist: positive Polarität für Dioden Pumpen und negative
für StarCell oder Triode Pumpen. Es ist nach dem diesbezüglichen
Handbuch vorzugehen, für den Gebrauch der Pumpe sind die
folgenden Bedienungsschritte zu beachten:
1
Mit einer Vorvakuumpumpe das System auf einen
Mindestanlaufdruck gemäß Tabelle 9 in Abhängigkeit vom
Ionenpumpentyp bringen.
2
Die Steuereinheit an eine entsprechende Versorgungsquelle
anschließen und einschalten.
3
Die Spannung, die Stromstärke und den Druck beobachten. Wenn
der Anlauf bei einem Druck von 5x10
-2
Torr (mbar) erfolgt ist, ist
eine Spannung von ca. 300 – 400 V typisch. Ein Stromwert, der
sich dem Kurzschlußstromwert der Steuereinheit annähert, weist
auf eine Leckstelle an der Pumpe und am System hin. Ein
zeitweiliger Anstieg des Vorvakuumdruckes ist während der
Anlaufphase normal.
4
Während des Anlaufes der Ionenpumpe soll das Vorvakuumventil
geöffnet bleiben, bis ein angemessener Anlaufdruck erreicht ist.
Wenn die Spannung der Ionenpumpe nach Schließung des
Ventils abfällt, ist das Ventil für eine zusätzliche
Vorvakuumpumpung zu öffnen. Sobald der Druck sinkt, steigt die
Spannung erneut an und kann das Vorvakuumventil geschlossen
werden.
5
Wenn die Spannung 2 – 3 kV erreicht hat, ist die Steuereinheit
auf den Status PROTECT zu schalten. Das System verfügt auf
diese Weise über einen Selbstschutz vor einem Druckanstieg über
1x10
-4
Torr (mbar), wenn die Pumpe nicht kontrolliert ist. Falls
ein solcher Anstieg stattfindet, wird die Steuereinheit
automatisch ausgeschaltet.
6
Der Pumpendruck kann auch berechnet werden, indem die
Stromstärke abgelesen wird und der abgelesene Wert mittels des
Druck-Stromstärke-Diagramms im Anhang “Technical
Information” des vorliegenden Handbuches in einen Druckwert
umgerechnet wird.