Agilent Technologies 9191610, User Manual

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Anleitung zur Installation
Gebrauch
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VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H) 27/98
Die Pumpe Vaclon Plus kann in einer beliebigen Position installiert
werden. Aus praktischen Gründen wird sie in der Regel senkrecht
mit nach oben gerichtetem Eintrittsflansch montiert. Bei nicht
senkrechten Einbaulagen soll die Pumpe auf Montagefüßen aufliegen,
die an ihrer Unterseite angebracht werden.
Detaillierte Informationen zur Installation der Pumpe sind dem
Anhang “Technical Information” zu entnehmen.
Gebrauch
Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Pumpen VacIon
Plus sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch ist vor der Inbetriebnahme genau durchzulesen. Es
wird empfohlen, die Pumpe auf einen Druck von 1x10
-4
Torr (mbar)
zu bringen, um einen rascheren Anlauf zu gewährleisten. Zu diesem
Zweck empfiehlt es sich, keine ölversiegelte mechanische Pumpe zu
verwenden. Falls hingegen eine derartige Pumpe benutzt werden
muß, soll an der Vakuumleitung eine Falle eingesetzt werden, um den
durch die Wasser- und Öldämpfe aus der mechanischen Pumpe
erzeugten Druck zu verringern. Es ist zu versuchen, die Zeit auf ein
Mindestmaß zu reduzieren, während der die mechanische Pumpe
zum System und zur Ionenpumpe geöffnet ist, da sich ihre Dämpfe
bei Drücken unter 1x10
-1
Torr (mbar) im System verbreiten und
dessen Verunreinigung verursachen. Bei Systemen, die vollkommen
ölfrei sein müssen, erweisen sich für den obengenannten Vorgang
Turbopumpen als geeigneter. Hygroskopische Ablage-rungen und die
Absorption von Wasserstoff in der Titanverbindung können die
Anlaufzeit verlängern und eine kürzere Standzeit der Pumpe
verursachen. Die Ablagerungen der Titanverbindungen absorbieren
Wasserdampf, wenn sie der Luft ausgesetzt werden. Dadurch bewirkt
beim anschließenden Anlaufvorgang die Aufheizung der Pumpe die
Abgabe des Dampfes und eines Teils des zuvor gepumpten
Wasserstoffs, so daß sich die Anlaufzeit verlängert.