Pfeiffer Vacuum HiCube 300 Classic, Руководство по эксплуатации, Страница: 2 / 30

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Table of contents
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1 About this manual . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.1 Validity. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.2 Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
2 Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
2.1 Safety precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
2.2 Proper use. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2.3 Improper use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
3 Transport and storage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
3.1 Transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
3.2 Storage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
4 Product description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
4.1 Product identification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
4.2 Function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
4.3 Range of application . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
5 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
5.1 Set-up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
5.2 Preparatory work . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
5.3 Connecting the high vacuum side . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
5.4 Connecting the exhaust side . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
5.5 Connecting to the mains power supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
5.6 Connecting accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
5.7 Connecting an external turbopump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
6 Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
6.1 Commissioning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
6.2 Operation modes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
6.3 Function description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
6.4 Saving energy . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
6.5 Operation with gas ballast valve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
6.6 Operation with fore-vacuum valve. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
6.7 Switching off and venting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
7 Maintenance / replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
7.1 Maintenance intervals and responsibilities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
7.2 Removal of components for their maintenance. . . . . . . . . . . . . . . . 20
7.3 Changing the operating fluid . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
8 Decommissioning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
8.1 Shutting down for longer periods. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
8.2 Re-starting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
8.3 Disposal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
9 Malfunctions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
9.1 Rectifying malfunctions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
10 Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
11 Spare parts HiCube Classic . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
12 Technical data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
12.1 HiCube 80 Classic. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
12.2 HiCube 300 Classic. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
12.3 HiCube 400 Classic. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
12.4 HiCube 700 Classic. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
13 Dimensions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
Declaration of conformit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29