
Problème
Cause possible
Solution
Fuite ou perte de débit
Il y a un problème au niveau
du point d'injection du four.
Ajoutez une goutte d'eau ultra-pure
au-dessus du point d'injection du
four. Si des bulles d'air apparaissent,
retirez et nettoyez entièrement
l'orifice d'injection. Vous pouvez
également remplacer l'orifice
d'injection.
Il y a un problème au niveau
du point d'injection IC.
• Ajoutez une goutte d'eau ultra-pure
au-dessus du point d'injection IC.
Si des bulles d'air apparaissent,
utilisez un pulvérisateur pour
mettre un peu d'eau ultra-pure
dans le point d'injection IC.
• Si le point d'injection IC continue à
pousser l'eau ultra-pure vers
l'extérieur, le condenseur est peut-
être obstrué. Réglez la
température du condenseur sur
20 °C (68 °F). Attendez
30 minutes. Utilisez le
pulvérisateur pour mettre un peu
d'eau ultra-pure dans le point
d'injection IC. Le débit devrait
revenir à la valeur standard.
Contactez l'assistance technique.
Il y a un problème au niveau
du filtre à particules.
L'analyse peut former du CuCl, une
minuscule poudre pouvant obstruer
le filtre. L'obstruction peut augmenter
la pression, ce qui peut entraîner une
mesure de débit inférieure à la valeur
attendue. Utilisez de l'air comprimé
pour nettoyer le filtre à particules.
Remplacez le filtre à particules.
Une fuite apparaît après le
montage du tube du four.
Le joint torique qui scelle le fond du
tube du four peut se dilater ou se
rétracter pendant le fonctionnement
du four. Retirez l'ensemble du four et
utilisez un tournevis plat pour
resserrer le joint torique.
Il n'y a pas de bulles d'air
dans le flacon de réactif à
l'eau ultra-pure
Le démarrage du système ne
fonctionne pas.
Assurez-vous que le système
démarre correctement. Si le
démarrage échoue, les vannes à
oxygène peuvent être
endommagées. Contactez
l'assistance technique pour
remplacer les vannes à oxygène.
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Français
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