
문제
발생
원인
해결책
TN
측정을
위한
이중
피크
소둔로
튜브
상단의
세라믹
울
층에
결함
이
있습니다
.
소둔로
튜브를
교체합니다
.
샘플
내에서
높은
영역
및
낮은
영
역
카운트
소둔로
배출구의
O-
링
에
문제가
있습니다
.
O-
링을
교체하고
15
개의
블랭크를
분석합니다
.
소둔로
튜브에
문제가
있습니다
.
소둔로
튜브에
아주
작은
파열이
있으면
누출이
발생할
수
있습니다
.
소둔로
튜브를
교체하고
15
개의
블랭크를
분석합니다
.
할로겐
스크러버가
올
바르게
조립되지
않았
습니다
.
할로겐
스크러버를
분리했다
다시
설치합니다
.
할로겐
스크러버
는
며칠
내에
교
체해야
합니다
.
콘덴서의
튜브가
올바
르게
조립되지
않았습
니다
.
검출기
챔버에
액체가
있습니다
.
튜브를
검사합니다
.
입자
필터가
축한지
확인합니다
.
필터가
젖은
경우
CO2
감지기에
습기가
있는지
확인합니다
.
필요에
따라
CO2
감지기를
청소합니다
.
시스템에
“IC/
폐
기물
포트
아래의
누출
”
이
표시됨
IC/
폐기물
포트에
문
제가
있습니다
.
•
센서를
교체하십시오
.
•
누출
용기
아래에
있는
센서를
제거합니다
.
센서를
에
탄올로
헹군
다음
초순수
물로
헹굽니다
.
센서에서
가
능한
모든
액체를
제거합니다
.
센서를
다시
설치합니
다
.
참고
:
분석기를
조립하기
전에
임계값
아래에
센서를
설치하십시오
.
메모리
효과
소둔로
튜브가
지저분
합니다
.
소둔로
튜브를
제거합니다
.
소둔로
튜브
온도가
주변
온
도로
감소할
때까지
기다립니다
.
석영과
촉매는
초순수로
따로
헹굽니다
.
소둔로
튜브를
분석기에
조립하고
설치합
니다
.
소둔로
가열을
시작합니다
.
액체가
채워진
IC
용기
IC
펌프에
결함이
있
습니다
.
기술
지원부에
문의하십시오
.
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한국어
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